[实用新型]一种用于加工CPU晶圆产品的工装

说明书

本实用新型提供的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，包括工作台板、工装板、定位销、张紧槽、固定槽和锁紧螺丝；工作台板位于加工设备上，工装板位于工作台板上，定位销位于工作台板和工装板之间，固定槽位于张紧槽的一侧，贯穿工装板；锁紧螺丝位于张紧槽内，贯穿张紧槽。本实用新型提供的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，利用工装板的固定槽对晶圆进行装夹固定，同时利用张紧槽和锁紧螺丝的拧紧程度，调节张紧槽的张紧力，从而改变固定槽的尺寸进行夹紧，可以平滑增加夹紧力，防止晶圆在装夹时受力过猛产生损伤，另外固定槽可以将晶圆竖直夹紧，一次夹紧后只需要旋转工作台板就可以将晶圆的两面进行加工，不需要进行二次装夹，减少损伤的可能。

技术领域

本实用新型涉及一种用于加工CPU晶圆产品的工装。

背景技术

目前，CPU使用的晶圆产品在电子产业内被广泛运用，随着生产工艺的改进，晶圆的外形也在不断的要求变更，而且产品精度要求越来越高，在晶圆经过多次抛光和深度清洗后，表面光洁度和清洁度都达到了很高的标准，任何细小的毛刺或脏污都可能划伤晶圆，造成产品报废。这就要求放置晶圆的产品表面粗糙度Ra0.02以内，同时表面不能有任何细小的划伤。

即便是将加工用的工装做的如此精度，但是装夹定位过程中如果出现多次定位装夹，势必会造成产品的多次受力，直接会对产品表面形成伤害，影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种用于加工CPU晶圆产品的工装，通过结构定位产品位置进行加工，再利用张紧槽对产品装夹，实现一次定位，通过工作台的旋转加工产品的两面，防止二次装夹。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种用于加工CPU晶圆产品的工装，包括工作台板、工装板、定位销、张紧槽、固定槽和锁紧螺丝；所述的工作台板位于加工设备上，跟随设备工作台自由转动；所述的工装板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；所述的定位销位于所述的工作台板和工装板之间，贯穿所述的工装板和工作台板，定位所述的工装板和工作台板；所述的张紧槽位于所述的工装板上，贯穿所述的工装板；所述的固定槽位于所述的张紧槽的一侧，贯穿所述的工装板；所述的锁紧螺丝位于所述的张紧槽内，贯穿所述的张紧槽，与所述的张紧槽螺纹连接。

进一步的，所述的固定槽由两个设置为一组，对称分布在所述的张紧槽的两侧。

进一步的，所述的张紧槽设置有多个，均匀分布在所述的工装板上，所述的固定槽与所述的张紧槽位置相对应，设置有多组。

进一步的，每一个所述的张紧槽设置有弹簧孔，所述的弹簧孔位于所述的张紧槽的一端，贯穿所述的工装板。

进一步的，所述的弹簧孔设置有两个，对称分布在所述的张紧槽的两端。

进一步的，所述的工作台板设置有支撑板，所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接。

进一步的，所述的工作台板上设置有连接螺丝，所述的连接螺丝设置有多个，与所述的支撑板固定连接，对称分布在所述的工作台板的四角。

进一步的，所述的工作台板上设置有避位槽，所述的避位槽位于所述的工装板的下方，位置与所述的工装板相对应。

进一步的，所述的工装板上设置有固定螺丝，所述的固定螺丝设置有多个，与所述的工作台板固定连接，对称分布在所述的工装板的四角。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，利用工装板的固定槽对晶圆进行装夹固定，同时利用张紧槽和锁紧螺丝的拧紧程度，调节张紧槽的张紧力，从而改变固定槽的尺寸进行夹紧，可以平滑增加夹紧力，防止晶圆在装夹时受力过猛产生损伤，另外固定槽可以将晶圆竖直夹紧，一次夹紧后只需要旋转工作台板就可以将晶圆的两面进行加工，不需要进行二次装夹，减少损伤的可能。

附图说明