[实用新型]一种管路清洗装置有效

专利信息
申请号: 201821963349.5 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN209918493U 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 杨胜飞;陈呈杰;陈险峰;蔡吉明 申请(专利权)人: 安徽三安气体有限公司
主分类号: B08B9/027 分类号: B08B9/027;B08B9/032
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 241000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 连接管 清洗管路 控制阀 清洗槽 循环泵 出液管 进液管 半导体制造领域 管路清洗装置 本实用新型 反向出液阀 反向进液阀 清洗装置 出口端 进口
【权利要求书】:

1.一种管路清洗装置,包括清洗槽、循环泵、待清洗管路、连接循环泵与清洗槽的第一连接管、连接循环泵与待清洗管路进口端的第二连接管、连接待清洗管路出口端与清洗槽的第三连接管,所述第一连接管、第二连接管和第三连接管上分别设置有第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀,其特征在于:该清洗装置还包括设置于待清洗管路两端的反向进液管和反向出液管,所述反向进液管上设置于反向进液阀,所述反向出液管上设置有反向出液阀。

2.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述反向进液管的一端连接于第二控制阀与循环泵之间的第二连接管上。

3.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述反向进液管的另一端于连接于所述第三控制阀与待清洗管路出口端之间的第三连接管上。

4.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述反向出液管的一端连接于第二控制阀与待清洗管路进口端之间的第二连接管上。

5.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述反向出液管的另一端连接于所述第三控制阀与清洗槽之间的第三连接管上。

6.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述管路清洗装置还包括加热震动装置,所述加热震动装置设置于待清洗管路周围。

7.根据权利要求6所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述加热震动装置包括加热套件,设置于加热套件内部的制热组件以及设置于加热套件外部的震动组件。

8.根据权利要求7所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述制热组件的个数为2~8组。

9.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述待清洗管路为单个待清洗管路或者复数个通过接头连接后的待清洗管路。

10.根据权利要求1所述的一种管路清洗装置,其特征在于:所述清洗槽还设置有排水件。

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