[实用新型]冷凝板及减压干燥装置

权利要求书

1.一种冷凝板，其特征在于，所述冷凝板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于与待干燥基板间隔相对设置，且所述冷凝面呈自所述冷凝板的边缘向所述冷凝板的中部凹陷的弧面。

2.根据权利要求1所述的冷凝板，其特征在于，所述冷凝板内设有第一冷凝管和第二冷凝管，所述第一冷凝管设于所述冷凝板的中部，所述第二冷凝管环绕所述第一冷凝管设置。

3.根据权利要求1所述的冷凝板，其特征在于，所述冷凝板内设有第一冷凝管和多个第二冷凝管，所述第一冷凝管设于所述冷凝板的中部，所述多个第二冷凝管围绕所述第一冷凝管设置。

4.根据权利要求2或3所述的冷凝板，其特征在于，所述第一冷凝管自所述冷凝板的中部沿弧面向所述冷凝板的边缘螺旋延伸，形成若干相邻的第一子管段。

5.根据权利要求4所述的冷凝板，其特征在于，所述第一子管段与相邻的靠近所述冷凝板的中部的第一子管段之间的距离大于所述第一子管段与相邻的靠近所述冷凝板的边缘的第一子管段之间的距离。

6.根据权利要求2或3所述的冷凝板，其特征在于，所述第二冷凝管自远离所述冷凝板边缘沿弧面向靠近所述冷凝板边缘螺旋延伸，形成若干相邻的第二子管段。

7.根据权利要求6所述的冷凝板，其特征在于，所述第二子管段与相邻的靠近所述冷凝板的中部的第二子管段之间的距离大于所述第二子管段与相邻的靠近所述冷凝板的边缘的第二子管段之间的距离。

8.根据权利要求1所述的冷凝板，其特征在于，所述待干燥基板为有机电致发光二极管基板、量子点电致发光二极管基板或有机电致发光二极管和量子点电致发光二极管的混合基板。

9.一种减压干燥装置，其特征在于，包括权利要求1～8任一项所述的冷凝板和载物台，所述载物台用于承载所述待干燥基板，所述冷凝板与所述载物台间隔相对设置。

10.根据权利要求9所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括升降组件，所述升降组件与所述载物台连接，以用于调节所述载物台的高度。