[实用新型]冷凝板及减压干燥装置

说明书

本实用新型涉及一种冷凝板及减压干燥装置，所述冷凝板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于与待干燥基板间隔相对设置，且所述冷凝面呈自所述冷凝板的边缘向所述冷凝板的中部凹陷的弧面。如此，在减压干燥时使待干燥基板与冷凝板的冷凝面的弧面相对设置，从而待干燥基板越靠近边缘的区域与冷凝面的间距就越小。如此，即可缩小甚至消除待干燥基板的边缘区域与中部区域的溶剂挥发速度的差异，从而减小各区域干燥程度的差异，提高印刷工艺中待干燥基板的整个面板的成膜均匀性，有助于窄边框像素面板的设计制造。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种冷凝板及减压干燥装置。

背景技术

有机电致发光二极管(OLED)和量子点电致发光二极管(QLED)由于其具有自发光、反应快、视角广、亮度高、轻薄等优点，QLED、OLED显示屏成为未来显示的主流。由于印刷工艺低成本、高产能、易于实现大尺寸等优点，是未来显示技术发展的重要方向。即如图1所示，通过喷墨打印头120用喷墨打印的方式将功能层材料墨水130打印到像素坑110内，QLED、OLED基板上的空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发光层(EML)材料等功能性材料均可以采用喷墨打印工艺制备。目前，主要有采用印刷工艺制作QLED、OLED基板后，再通过减压干燥、烘烤、蒸镀电极和封装等步骤。QLED、OLED效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是非常重要的考察点。现在还在研发QLED和OLED的混合器件(例如红光和绿光器件采用QLED，蓝光器件采用OLED)。

QLED、OLED制作工艺中对墨水材料成膜均匀性具有重要影响的主要有三个工艺：一是喷墨打印工艺，其墨滴体积、滴落角度控制的精确性对像素坑内墨水材料的成膜的均匀性有重要影响；二是减压干燥工艺，在墨水中的溶剂成分挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性也有重要影响；三是烘烤工艺，针对基板加热的均匀性对墨水材料的均匀成膜有重要影响。目前针对小尺寸的基板，喷墨打印工艺中的制程时间比较短，例如进行空穴注入层(HIL)喷墨打印时，一个墨水填充元件就可以完成打印，并且在小尺寸的基板上起始打印的位置和结束打印的位置(包含基板四周区域)，时间间隔不是太长，这样同一层的墨水在打印完成后各区域干燥程度差异不大。但是如图2所示，针对大尺寸的基板时，因间隔时间过长及溶剂蒸发速度的差异，基板上四周区域A与中部区域B的干燥程度差异过大，采用一般的减压干燥装置进行后续的减压干燥后将导致成膜不均匀。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种用于减压干燥装置、能够在减压干燥过程中提高成膜均匀性的冷凝板。

一种冷凝板，所述冷凝板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于与待干燥基板间隔相对设置，且所述冷凝面呈自所述冷凝板的边缘向所述冷凝板的中部凹陷的弧面。

目前针对在减压干燥过程中的成膜不均匀问题，通常选择对基板上的像素设计进行优化，将像素矩阵分为有效像素区(直接参与显示区域)，以及保护像素区，即设置像素矩阵的边缘区域不参与显示，因为该边缘区域在现有减压干燥装置的条件下，成膜均匀性不好，只能被牺牲掉。但该方式不适用于高分辨率窄边框的产品设计，因为保护像素区的设置侵占了有效像素区的面积，很难实现真正的窄边框设计。本实用新型提供的冷凝板通过对结构进行改进，使冷凝板的冷凝面整体呈向远离冷凝面的一侧凹陷的弧面。如此，在减压干燥时，将待干燥基板置于载物台上，使待干燥基板与冷凝板的冷凝面的弧面相对设置，从而待干燥基板越靠近边缘的区域与冷凝面的间距就越小。间距较小，相应地该区域挥发的溶剂浓度相对较大；间距较大，相应地该区域挥发的溶剂浓度较小。而溶剂的挥发速度与其周边的溶剂浓度相关，溶剂浓度越大挥发速度越慢，溶剂浓度越小挥发速度越快。如此即可缩小甚至消除待干燥基板的边缘区域与中部区域的溶剂挥发速度的差异，从而减小干燥程度的差异，提高印刷工艺中待干燥基板的整个面板的成膜均匀性，有助于窄边框像素面板的设计制造。

附图说明

图1为OLED制作中喷墨打印示意图；

图2为大尺寸玻璃基板的成膜不均匀示意图；