[实用新型]一种板式ALD腔体的清理装置

权利要求书

1.一种板式ALD腔体的清理装置，其特征在于，包括清理框(1)，所述清理框(1)包括支撑板(11)及阵列分布于所述支撑板(11)的顶面的若干个清理部(12)，所述支撑板(11)能够沿板式ALD镀膜设备的工艺腔(3)往复移动，所述清理部(12)与所述工艺腔(3)的盖板(4)接触以清理所述盖板(4)。

2.根据权利要求1所述的清理装置，其特征在于，所述支撑板(11)的顶面开设有若干盲孔(13)，每个所述盲孔(13)内对应设置有一个清理部(12)。

3.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，所述盲孔(13)的直径为0.8-1mm，相邻所述盲孔(13)之间的间距为1.4-1.8mm。

4.根据权利要求2所述的清理装置，其特征在于，每个所述清理部(12)包括10-20根铝丝。

5.根据权利要求4所述的清理装置，其特征在于，每个所述盲孔(13)内的全部所述铝丝的底端连接为一体并连接于所述盲孔(13)内。

6.根据权利要求4所述的清理装置，其特征在于，所述铝丝的长度为0.5-1mm，所述铝丝的直径为0.08-0.12mm。

7.根据权利要求1所述的清理装置，其特征在于，所述支撑板(11)由石墨制成。

8.根据权利要求1-7任一项所述的清理装置，其特征在于，所述支撑板(11)的外形尺寸与镀膜石墨框的外形尺寸相同，并且所述支撑板(11)能够与用于驱动所述镀膜石墨框移动的驱动机构连接。

9.根据权利要求1-7任一项所述的清理装置，其特征在于，所述清理装置还包括清理框驱动组件，所述清理框驱动组件贯穿于所述工艺腔(3)且与所述支撑板(11)连接，以驱动所述支撑板(11)在所述工艺腔(3)内移动。

10.根据权利要求9所述的清理装置，其特征在于，所述清理框驱动组件包括传送带(2)，所述支撑板(11)连接于所述传送带(2)上。