[实用新型]一种旋转靶材绑定的装置

权利要求书

1.一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：包括机架（1）、铟溢流封口头（2）、具有加热功能的铟注入封口头组件（3）、若干个靶材位置调节座（6）、1对管支架（7）和用于密封背管的油浴堵头（4）、油浴加热堵头（5），所述机架主要是由操作平台（11）和安装在操作平台下方的支架（12）构成，所述操作平台上开有长条形通道（13），铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件（3）包括储铟槽（31）、铟注入封口头（34）、封头支架（32）、和用于加热储铟槽的加热器（33）；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座（6）放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头（4）设置有蒸汽槽（41）和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ（42）；所述油浴加热堵头（5）设置有安装孔（51）和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ（53），安装孔内安装有加热棒（52），安装孔的一端通过加热棒密封。

2.根据权利要求1所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述靶材位置调节座（6）包括可旋转高度微调底板（61）、前后移动滑台（62）、靶材固定半夹（63）和靶材活动半夹（64），所述可旋转高度微调底板中部开有螺纹孔，前后移动滑台底端设置有带外螺纹的圆台（65），圆台与螺纹孔通过螺纹连接，所述前后移动滑台上端边缘设置有凸起侧边（621），该凸起侧边位于靶材固定半夹底面开有的滑槽（631）内，靶材固定半夹的上端面一侧开有长条形定位槽（632），靶材活动半夹通过定位件与长条形定位槽配合安装在靶材固定半夹的一侧。

3.根据权利要求2所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述前后移动滑台一侧安装有调节座（66）和与调节座通过螺纹连接的前后移动调节杆（67），前后移动调节杆的一端通过轴承与靶材固定半夹的底端连接。

4.根据权利要求2或3所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述可旋转高度微调底板上设置有2个导向柱（68），圆台两侧的前后移动滑台底端面还开有圆弧导向槽（622），2个导向柱分别位于圆弧导向槽内。

5.根据权利要求2或3所述一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：所述圆台为上部大下部小的结构，圆台的下部开有外螺纹，圆台的下部与可旋转高度微调底板的螺纹孔通过螺纹连接。