[实用新型]一种旋转靶材绑定的装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置，包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头。铟溢流封口头通过1个管支架支撑在机架上，铟注入封口头组件放置在机架上交通过另1个管支架支撑，靶材位置调节座放置在机架上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间。采用本实用新型进行旋转靶材绑定时，旋转靶材是平躺放置，绑定效果好。一方面，通过调整铟溢流封口头和铟注入封口头之间的距离，本实用新型能够适用于各种长度的旋转靶材绑定；另一方面，由于采用平躺放置的形式对旋转靶材进行绑定，不需要进行高空作业，且对厂房的高度没有特殊要求。

技术领域

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置。

背景技术

磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。近些年，由于平面靶材的利用率低（不到40%），而旋转靶材的利用率高达80%，平面靶材逐渐显现出被旋转靶材取代的迹象。

旋转靶材在使用时，旋转靶材套在铜管（即背管）外并与铜管钎焊在一起，焊层厚度在1毫米左右。在旋转靶材与背管钎焊（绑定）的过程中，现有技术多是将旋转靶材竖直放置，然后对其进行加热，将熔化的铟注入背管与靶材之间1毫米的间隙中，然后冷却，达到将靶材和铜管焊接的目的。这种方法存在以下不足之处：一方面，需要将旋转靶材竖直放置，旋转靶材的长度通常在2-3米，并有加长的趋势，对厂房高度有要求，且高空作业不方便；另一方面，各厂家使用的旋转靶材长短不一，所以同一长度的加热棒，并不能适应多个长度规格，需要准备多根不同长度的加热棒，增加了零部件的购买成本和管理工作。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种结构简单的旋转靶材绑定的装置，可对平躺放置的旋转靶材进行绑定，适应各种长度的旋转靶材，不需要进行高空作业，对厂房没有特殊的高度要求，绑定效果好，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种旋转靶材绑定的装置，包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头，所述机架主要是由操作平台和安装在操作平台下方的支架构成，所述操作平台上开有长条形通道，铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件包括储铟槽、铟注入封口头、封头支架、和用于加热储铟槽的加热器；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头设置有蒸汽槽和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ；所述油浴加热堵头设置有安装孔和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ，安装孔内安装有加热棒，安装孔的一端通过加热棒密封。

所述靶材位置调节座包括可旋转高度微调底板、前后移动滑台、靶材固定半夹和靶材活动半夹，所述可旋转高度微调底板中部开有螺纹孔，前后移动滑台底端设置有带外螺纹的圆台，圆台与螺纹孔通过螺纹连接，所述前后移动滑台上端边缘设置有凸起侧边，该凸起侧边位于靶材固定半夹底面开有的滑槽内，靶材固定半夹的上端面一侧开有长条形定位槽，靶材活动半夹通过定位件与长条形定位槽配合安装在靶材固定半夹的一侧。

所述前后移动滑台一侧安装有调节座和与调节座通过螺纹连接的前后移动调节杆，前后移动调节杆的一端通过轴承与靶材固定半夹的底端连接。

所述可旋转高度微调底板上设置有2个导向柱，圆台两侧的前后移动滑台底端面还开有圆弧导向槽，2个导向柱分别位于圆弧导向槽内。