[实用新型]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，包括：

研磨头结构；以及

抽气装置，设置于所述研磨头结构上方，以除去所述研磨头结构上的污染物。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括旋转轴及固定支架，其中，所述旋转轴连接于所述固定支架与所述研磨头结构之间，所述抽气装置设置于所述旋转轴的外围且位于所述研磨头结构与所述固定支架之间。

3.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括托盘结构，所述托盘结构设置于所述旋转轴的外围且位于所述抽气装置与所述固定支架之间并与所述固定支架相接触。

4.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述抽气装置包括排气腔室以及与所述排气腔室相连通的排气管路，其中，所述排气腔室呈环形且套置于所述旋转轴的外围。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述排气腔室的内环边缘与所述旋转轴之间形成一间隙，所述间隙介于3mm-10mm之间；所述排气腔室的外环边缘在所述研磨头结构的上表面的正投影与所述研磨头结构的外缘之间的距离小于等于1mm；所述排气腔室的底部与所述研磨头结构的上表面之间的距离介于8mm-15mm之间。

6.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述排气腔室包括至少两个排气腔单元，所述抽气装置包括至少两条所述排气管路，其中，各所述排气腔单元拼接形成所述排气腔室，且各所述排气腔单元分别对应与一所述排气管路相连通。

7.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，所述抽气装置还包括驱动装置，所述驱动装置与各所述排气腔单元相连接，以带动各所述排气腔单元的移动。

8.根据权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述驱动装置包括气缸及马达中的至少一种，当所述驱动装置包括所述气缸时，所述气缸通过一连接结构带动所述排气腔单元移动，且所述气缸设置于所述固定支架上。

9.根据权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括控制装置，所述抽气装置还包括与所述排气腔室相连通抽气泵装置，其中，所述控制装置与所述驱动装置相连接，以控制所述驱动装置工作，所述控制装置与所述抽气泵装置相连接，以控制所述抽气泵装置工作。

10.根据权利要求6-9中任意一项所述的研磨装置，其特征在于，所述抽气装置还包括至少两个与所述排气腔单元对应的导轨装置，其中，所述导轨装置设置于所述固定支架上，所述排气腔单元沿对应的所述导轨装置移动。