[实用新型]一种提高正向光的LED芯片有效
申请号: | 201822006986.X | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209183566U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 许英朝;蔡立鹤 | 申请(专利权)人: | 厦门理工学院 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/06;H01L33/10;H01L33/40;H01L33/00 |
代理公司: | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人: | 杨玉芳 |
地址: | 361024 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射 金属 第一表面 台阶结构 下电极 正向光 电极 墙体 半导体发光器件 本实用新型 包围 反射作用 发光层 切割道 衬底 正向 制备 辐射 覆盖 保证 | ||
本实用新型提供了一种提高正向光的LED芯片,涉及半导体发光器件机制备技术领域,包括:衬底、N型GaN层、MQW层、P型GaN层、上电极、下电极以及金属反射墙;其中,N型GaN层未被MQW层以及P型GaN层覆盖的第一表面区域与MQW层以及P型GaN层形成台阶结构;上电极位于P型GaN层上;金属反射墙位于N型GaN层的第一表面区域上,且包围MQW层与P型GaN层,以形成一墙体;下电极位于N型GaN层的第一表面区域上,且位于金属反射墙以及MQW层之间。通过切割道区域内设有金属反射墙,金属反射墙制备于台阶结构上,形成墙体包围MQW层与P型GaN层。保证了有源发光层MQW层向外辐射的光,经由金属反射墙的反射作用,增加了光的反射,从而提高正向出光。
技术领域
本实用新型涉及半导体发光器件机制备技术领域,具体而言,涉及一种提高正向光的LED芯片。
背景技术
LED作为一种高效、绿色环保的新型固态照明光源,具有体积小、重量轻、寿命长、可靠性高及使用功耗低等优点,因而在照明领域得到了广泛的应用,同时LED在手机、显示屏等背光方面的应用也愈来愈热门。
现有的LED芯片在发光时一般离散型较大,从侧面的出光损失较大,对于一些正向光要求比较严苛的应用,光照强度略显不足。所以如何提高LED芯片的正向出光能力迫在眉睫。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种提高正向光的LED芯片,能够有效提升LED芯片的正向出光能力。
第一方面,本实用新型提供了一种提高正向光的LED芯片,包括:衬底、N型GaN层、MQW层、P型GaN层、上电极、下电极以及金属反射墙;所述N型GaN层位于所述衬底上;所述MQW层位于所述N型GaN层上;所述P型GaN层位于所述MQW层上;其中,所述N型GaN层未被MQW层以及P型GaN层覆盖的第一表面区域与MQW层以及P型GaN层形成台阶结构;所述上电极位于所述P型GaN层上;所述金属反射墙位于所述N型GaN层的第一表面区域上,且包围所述MQW层与所述P型GaN层,以形成一墙体;所述下电极位于所述N型GaN层的第一表面区域上,且位于所述金属反射墙以及所述MQW层之间。
作为进一步改进,所述金属反射墙的高度与所述上电极、下电极的高度一致;所述金属反射墙的内侧面为斜坡面,所述斜坡面的上坡方向朝向所述金属反射墙的外侧面。
作为进一步改进,所述MQW层与P型GaN层叠加后的高度为12000-15000埃。
作为进一步改进,所述金属反射墙、所述上电极、所述下电极的材料相同,为以下金属组合之一:Cr/Al/Ti/Pt/Ti/Pt/Au、Ni/Al/Ti/Pt/Ti/Pt/Au。
作为进一步改进,还包括:ITO透明导电层,位于所述P型GaN层与所述上电极之间;所述ITO透明导电层的厚度为600-2300埃。
作为进一步改进,所述衬底为蓝宝石衬底。
第二方面,本实用新型提供了一种提高正向光的LED芯片的制备方法,包括:
S10,提供衬底,于所述衬底的表面依次生长N型GaN层、MQW层以及P型GaN层;
S20,对所述P型GaN层以及MQW层进行干法刻蚀,以裸露部分所述N型GaN层,从而形成台阶结构;
S30,在所述P型GaN层的表面以及裸露的N型GaN层上涂布一层负光阻层;
S40,在负光阻层上依次通过显影、曝光以及蒸镀,以同时形成上电极、下电极以及金属反射墙;其中,所述上电极形成于所述P型GaN层上,所述下电极以及金属反射墙形成于所述N型GaN层裸露的区域上,且所述金属反射墙相对靠近于切割道。
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