[实用新型]排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置

权利要求书

1.一种排气集管，包括：

多个气体流入管；

气体排出管；和

容器部，其设置在所述气体排出管和所述多个气体流入管之间，具有排出口和多个流入口，所述多个气体流入管分别连接于对应的流入口，所述气体排出管连接于排出口，

其特征在于，

所有的流入口设置于所述容器部的一侧且朝一个方向开口。

2.根据权利要求1所述的排气集管，其特征在于，

所述多个气体流入管沿相同的方向延伸，使得气体经由各个气体流入管流入所述容器部时的气体的流动方向相同。

3.根据权利要求2所述的排气集管，其特征在于，

所述气体排出管的延伸方向与所述多个气体流入管的延伸方向之间的夹角不大于一预设角度，所述预设角度为锐角。

4.根据权利要求3所述的排气集管，其特征在于，

所述气体排出管的延伸方向与所述多个气体流入管的延伸方向平行。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的排气集管，其特征在于，

所述容器部为筒状结构，具有筒体、位于所述筒体一端的入口端和位于所述筒体另一端的出口端，所述流入口设置在所述入口端，所述排出口设置在所述出口端。

6.根据权利要求5所述的排气集管，其特征在于，

所述筒体的从所述入口端至所述出口端为止的侧面在所述气体流入管的延伸方向上不存在因弯折而形成的角。

7.根据权利要求6所述的排气集管，其特征在于，

所述排出口的直径与所述筒体的出口端的直径相同。

8.根据权利要求7所述的排气集管，其特征在于，

所述筒体的至少靠近所述出口端的部分为直径逐渐变大的圆锥形。

9.根据权利要求7所述的排气集管，其特征在于，

所述筒体的至少靠近所述出口端的部分为直径逐渐变小的圆锥形。

10.根据权利要求5所述的排气集管，其特征在于，

所述多个流入口中的一个设置在所述筒体的入口端的中心位置。

11.根据权利要求10所述的排气集管，其特征在于，

所述多个流入口中的除了位于中心位置的流入口之外的其他流入口在所述筒体的入口端沿所述筒体的圆周方向设置。

12.根据权利要求10所述的排气集管，其特征在于，

所述多个流入口中的除了位于中心位置的流入口之外的其他流入口在所述筒体的入口端按阵列方式设置。

13.一种气动门，其特征在于，具有根据权利要求1-12中任一项所述的排气集管。

14.一种真空装置，其特征在于，具有根据权利要求1-12中任一项所述的排气集管。