[实用新型]排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置

说明书

本实用新型提供一种排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置。排气集管包括：多个气体流入管；气体排出管；和容器部，其设置在所述气体排出管和所述多个气体流入管之间，具有排出口和多个流入口，所述多个气体流入管分别连接于对应的流入口，所述气体排出管连接于排出口，其特征在于，所有的流入口设置于所述容器部的一侧且朝一个方向开口。

技术领域

本实用新型涉及一种排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置，具体涉及一种能够迅速排出气体的排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置。

背景技术

一般而言，真空蒸镀装置具备真空容器。为了将真空容器抽成真空，真空装置具备排气装置。该排气装置具有排气集管。另外，真空蒸镀装置有时具有多个真空容器，多个真空容器之间的气动门的开闭也会用到排气集管。

图1为以往的排气集管的示意图，其中，(a)为主视图，(b)为右侧视图，(c)为(a)中的A-A剖视图。由图示可知，排气集管在流入管1、1’与流出管2之间具有容器部3，该容器部3为圆柱形状，多个流入管1与多个流入管1’设置于圆柱形状的容器部3的柱形侧面，流出管2设置于容器部3的端面。多个流入管1沿与容器部3的轴向平行的方向排列，且各个流入管1与容器部3的轴向大致垂直。多个流入管1’同样地沿与容器部3的轴向平行的方向排列，且各个流入管1’与容器部3的轴向大致垂直。由图1(c)所示可知，设置流入管1的部位与容器部3的俯视下的剖面中心的连线和设置流入管1’的部位与容器部3的俯视下的剖面中心的连线呈大致直角。当空气从流入管1和流入管1’分别流入容器部3中时，如图1(c)所示，由于从流入管1和从流入管1’流入的气体的流向大致垂直，二者在容器部3中相互碰撞而产生干涉，这使得朝向流出管2的气体的流动变迟缓，从而延长了排气时间，降低了装置整体的运行效率。

实用新型内容

本实用新型正是为了解决上述问题而提出的，其主要目的在于提供一种能够迅速排出气体的排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置。

本实用新型的排气集管包括：

多个气体流入管；

气体排出管；和

容器部，其设置在所述气体排出管和所述多个气体流入管之间，具有排出口和多个流入口，所述多个气体流入管分别连接于对应的流入口，所述气体排出管连接于排出口，

其特征在于，所有的流入口设置于所述容器部的一侧且朝一个方向开口。

优选的是，所述多个气体流入管沿相同的方向延伸，使得气体经由各个气体流入管流入所述容器部时的气体的流动方向相同。

优选的是，所述气体排出管的延伸方向与所述多个气体流入管的延伸方向之间的夹角不大于一预设角度，所述预设角度为锐角。

优选的是，所述气体排出管的延伸方向与所述多个气体流入管的延伸方向平行。

优选的是，所述容器部为筒状结构，具有筒体、位于所述筒体一端的入口端和位于所述筒体另一端的出口端，所述流入口设置在所述入口端，所述排出口设置在所述出口端。

优选的是，所述筒体的从所述入口端至所述出口端为止的侧面在所述气体流入管的延伸方向上不存在因弯折而形成的角。

优选的是，所述排出口的直径与所述筒体的出口端的直径相同。

优选的是，所述筒体的至少靠近所述出口端的部分为直径逐渐变大的圆锥形。

优选的是，所述筒体的至少靠近所述出口端的部分为直径逐渐变小的圆锥形。

优选的是，所述多个流入口中的一个设置在所述筒体的入口端的中心位置。

优选的是，所述多个流入口中的除了位于中心位置的流入口之外的其他流入口在所述筒体的入口端沿所述筒体的圆周方向设置。