[实用新型]传送手臂及传送系统有效
| 申请号： | 201822013721.2 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN209029341U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李天涯;周冬成;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 手臂 传送 晶圆 限位体 支撑板 板体 超声波发送装置 超声波接收装置 超声波元件 传送系统 缺损 本实用新型 差异判断 机械动作 实时信号 上表面 取片 凸起 侦测 嵌入 检测 失败 | ||
1.一种传送手臂，其特征在于，所述传送手臂包括：支撑板以及嵌入所述支撑板中的超声波元件，所述超声波元件包括超声波发送装置及超声波接收装置，所述支撑板包括限位体和板体，所述限位体凸起于所述板体，且所述限位体位于所述板体的上表面。
2.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，所述限位体与所述板体的侧面相连。
3.如权利要求2所述的传送手臂，其特征在于，所述超声波元件的数量为多个，每个所述超声波元件的一部分位于所述限位体中，每个所述超声波元件的另一部分位于所述板体中。
4.如权利要求3所述的传送手臂，其特征在于，所述限位体与所述板体的高度和为2.7mm-3.3mm。
5.如权利要求3所述的传送手臂，其特征在于，所述限位体的形状为圆弧式条形，多个所述超声波元件沿所述限位体的延伸方向均匀分布在所述支撑板中。
6.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，所述传送手臂还包括一连接部，所述连接部通过螺丝装置与所述支撑板固定安装。
7.如权利要求1所述的传送手臂，其特征在于，所述传送手臂的长度为240mm至370mm。
8.一种传送系统，其特征在于，所述传送系统包括：驱动器、基座以及如权利要求1-7中任一项所述的传送手臂；
其中，所述基座具有一容置空间，所述传送手臂固定于所述基座的外侧面上，所述驱动器位于所述容置空间内，且所述驱动器与所述传送手臂相连。
9.如权利要求8所述的传送系统，其特征在于，所述传送手臂的数量为多个，多个所述传送手臂竖直均匀固定在所述基座的外侧面上。
10.如权利要求9所述的传送系统，其特征在于，所述基座呈长方体型。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822013721.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基板处理系统
- 下一篇：气体循环单元及半导体机台
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
