[实用新型]一种石墨烯薄膜的制备装置

权利要求书

1.一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述进样室、制备室和出样室内设置有连通的滑轨，所述滑轨与进样室和出样室密封固定连接，所述滑轨上设置有薄膜制备箱，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述温度调节室设有温度调节装置，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，所述进样室和制备室侧壁上设置有真空泵和真空计，所述进样室和制备室内均设置有温度感应器，所述温度感应器与温度控制器电性连接，所述进样室顶部设置有进样口，所述出样室顶部设置有出样口，所述进样室一侧设置有推杆，所述出样室一侧设有磁性套杆，所述磁性套杆包括密封外壳和磁性滑柄，所述磁性滑柄顶端设有抓取部件。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，所述制备室与进样室的连接处设置第一绝热阀门，所述制备室与出样室的连接处设置有第二绝热阀门。

3.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，所述温度调节装置为加热管，所述加热管盘旋在气体温度调节室外壁上。

4.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，所述出样室外壁设有冷冻水循环装置。

5.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，所述第一红外线加热炉和第二红外线加热炉内设置有红外线加热器。