[实用新型]真空镀膜机有效
申请号: | 201822016375.3 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209178472U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 王孟良;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;许进;周强;孟健;王孟仁;高春玲;梅艳红 | 申请(专利权)人: | 深圳天成真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;金宏望 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大转盘 小转盘 真空镀膜机 固定轴 齿轮 镀膜 本实用新型 第一卡合部 待镀工件 容置腔 转动架 齿牙 物料供给装置 啮合 抽真空装置 第二卡合部 镀膜材料 运动模式 活动地 内环面 筒体围 外环面 斜上方 盛放 筒体 外凸 转动 承载 体内 驱动 灵活 配合 | ||
1.一种真空镀膜机,包括镀膜筒体、抽真空装置以及向所述镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置,所述镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔,其特征在于:所述容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架,所述转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘,所述大转盘的外环面设有第一齿牙,所述小转盘通过一固定轴安装于所述大转盘斜上方,且所述固定轴外还活动地套设有第一齿轮,所述固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部,所述第一齿轮的内环面设置有与所述第一卡合部相配合的第二卡合部,所述小转盘通过所述第一齿轮和所述第一齿牙之间的连接实现与所述大转盘相啮合。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述大转盘的转动中轴线与所述小转盘的转动中轴线相互平行。
3.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括设置于所述第一齿轮下方并支撑所述第一齿轮的滚珠轴承和驱动所述滚珠轴承沿所述固定轴滑动的第一驱动机构。
4.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包伸缩机构,所述伸缩机构的输出端固定连接有第二齿轮,所述小转盘的外环面设置有第二齿牙,所述伸缩机构驱动所述第二齿轮沿所述容置腔的上下方向移动,所述第二齿轮选择性地与所述小转盘的所述第二齿牙相啮合或者脱离连接。
5.如权利要求4所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括旋转机构,所述伸缩机构的输出端通过所述旋转机构与所述第二齿轮固定连接,所述第二齿轮安装于所述旋转机构的输出端。
6.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述转动架还包括第二驱动机构,所述大转盘的内环面设置有第三齿牙,所述第二驱动机构通过所述第三齿牙与所述大转盘相啮合并驱动所述大转盘转动。
7.如权利要求6所述的真空镀膜机,其特征在于:所述容置腔的底部还设置有若干滚轮,所述滚轮位于所述大转盘的正下方并承托所述大转盘,所述滚轮的转动中轴线与所述大转盘的转动中轴线相互垂直。
8.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第一卡合部的横截面呈T字型。
9.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述大转盘的上表面设置有环形的凹槽,所述环形的凹槽内安装有若干滚珠,所述滚珠的顶部向上凸出于所述凹槽并抵接于所述小转盘的底部。
10.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述大转盘的底部向下凸设有第一锁固件,所述容置腔的内壁凸设有第二锁固件,所述固定轴的一端选择性地与所述第一锁固件连接或者与所述第二锁固件连接。
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