[实用新型]一种加热器结构及氢气传感器有效
| 申请号： | 201822040465.6 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209806099U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 宁文果;王锦;王帅;楚延鹏;沙华露;高咏;冯奇 | 申请（专利权）人： | 上海汽车集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/16;G01N27/16 |
| 代理公司： | 11304 北京信远达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热结构 图案 加热器结构 绝缘膜层 衬底 丝网印刷工艺 氢气传感器 衬底表面 导电浆料 第一表面 丝网印刷 通孔 制备 印刷 贯穿 检测 覆盖 申请 | ||
1.一种加热器结构，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底包括贯穿所述衬底的通孔，以及位于衬底第一表面中，且部分贯穿所述衬底的第一图案；
覆盖所述衬底表面以及所述通孔的绝缘膜层，所述绝缘膜层包括第二图案，所述第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度，所述第二图案在所述衬底上的正投影与所述第一图案部分重合，且覆盖所述通孔；
位于所述绝缘膜层背离所述衬底一侧的加热结构，所述加热结构包括相对设置的第一焊盘、第二焊盘和电阻结构；其中，所述第一焊盘和第二焊盘相对设置，所述电阻结构位于所述第一焊盘和第二焊盘之间，且连接所述第一焊盘和第二焊盘。
2.根据权利要求1所述的加热器结构，其特征在于，所述电阻结构为经过多次弯折的电阻丝。
3.根据权利要求2所述的加热器结构，其特征在于，所述第二图案包括第一子图案和第二子图案，所述第一子图案在所述衬底上的正投影与所述第一图案部分重合，且部分覆盖所述通孔，用于形成所述第一焊盘和第二焊盘；
所述第二子图案位于所述通孔中，用于形成所述电阻结构。
4.根据权利要求3所述的加热器结构，其特征在于，所述第一子图案在所述衬底上的正投影与所述第一焊盘和第二焊盘在所述衬底上的正投影重合；
所述第二子图案在所述衬底上的正投影与所述电阻结构在所述衬底上的正投影重合。
5.根据权利要求1所述的加热器结构，其特征在于，所述衬底为硅衬底；
所述绝缘膜层为氧化硅薄膜；
所述第一焊盘和第二焊盘均为铂金属焊盘；
所述电阻结构为铂金属电阻结构。
6.一种氢气传感器，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的加热器结构。
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