[实用新型]一种加热器结构及氢气传感器

说明书

本申请公开了一种加热器结构及氢气传感器，包括衬底，以及位于衬底第一表面中，且部分贯穿所述衬底的第一图案；覆盖所述衬底表面以及所述通孔的绝缘膜层，所述加热器结构的绝缘膜层中包括第二图案，且第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度，为形成在第二图案中的加热结构限定了形成区域，从而使得在利用丝网印刷工艺制备加热结构时，只需使形成加热结构的导电浆料印刷在第二图案中即可，不仅降低了加热结构的形成难度，而且提升了形成的加热结构的形状的精度，避免丝网印刷获得的加热结构比设计的图形大很多的情况出现，提升了所述加热器结构检测精度。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，更具体地说，涉及一种加热器结构及氢气传感器。

背景技术

氢气是一种清洁的能源，燃烧产物是水，对环境不产生污染。而且氢气热值居各种燃料之首，是石油的3倍多，储存体积小。同时，氢气资源丰富，以水为原料，电解可以制得，相对化学燃料比较丰富。常温下，氢气的性质稳定，不容易跟其它物质反应，但是当加热或者遇到催化剂时，具有较大的活性，例如当氢气体积分数为4％-75％时，遇到火源，可引起爆炸。氢气安全储存和运输不易。

为了保证氢气的使用安全，氢气的泄漏检测和浓度检测很有必要。现有技术中通常使用氢气传感器来检测氢气浓度，氢气传感器中包括一个尺寸很小的加热器结构，利用位于加热器结构的电阻附近的氢气燃烧导致的电阻变化实现对氢气浓度的检测。

但是由于加热器结构的尺寸非常小，通常在数百微米量级，而加热器结构中的电阻的尺寸更小，利用丝网印刷工艺制备加热器结构中的电阻结构时，难以形成准确的电阻结构的形状，给加热结构的检测精度带来了不良影响。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请提供了一种加热器结构及氢气传感器，以实现利用丝网印刷工艺制备精确形状的电阻结构的目的。

为实现上述技术目的，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种加热器结构，包括：

衬底，所述衬底包括贯穿所述衬底的通孔，以及位于衬底第一表面中，且部分贯穿所述衬底的第一图案；

覆盖所述衬底表面以及所述通孔的绝缘膜层，所述绝缘膜层包括第二图案，所述第二图案的高度小于所述绝缘膜层其他区域的高度，所述第二图案在所述衬底上的正投影与所述第一图案部分重合，且覆盖所述通孔；

位于所述绝缘膜层背离所述衬底一侧的加热结构，所述加热结构包括相对设置的第一焊盘、第二焊盘和电阻结构；其中，所述第一焊盘和第二焊盘相对设置，所述电阻结构位于所述第一焊盘和第二焊盘之间，且连接所述第一焊盘和第二焊盘。

可选的，所述电阻结构为经过多次弯折的电阻丝。

可选的，所述第二图案包括第一子图案和第二子图案，所述第一子图案在所述衬底上的正投影与所述第一图案部分重合，且部分覆盖所述通孔，用于形成所述第一焊盘和第二焊盘；

所述第二子图案位于所述通孔中，用于形成所述电阻结构。

可选的，所述第一子图案在所述衬底上的正投影与所述第一焊盘和第二焊盘在所述衬底上的正投影重合；

所述第二子图案在所述衬底上的正投影与所述电阻结构在所述衬底上的正投影重合。

可选的，所述衬底为硅衬底；

所述绝缘薄膜为氧化硅薄膜；

所述第一焊盘和第二焊盘均为铂金属焊盘；

所述电阻结构为铂金属电阻结构。

一种氢气传感器，包括如上述任一项所述的加热器结构。