[实用新型]一种显微光分布测试系统

权利要求书

1.一种显微光分布测试系统，其特征在于，所述显微光分布测试系统包括测试平台、调节模块、探测模块和终端；其中，测试件固定在所述测试平台上，所述调节模块对测试平台的方位、温度和探测模块测试输入条件进行调节；所述探测模块对所述测试件进行探测，其探测到的数据参数和影像传输到终端；

所述调节模块包括万向调整样品台、循环水冷装置、加热电路、高低温数显精密控温仪以及可编程直流电源；其中，所述测试平台设置在所述万向调整样品台上；所述循环水冷装置环绕地设置在测试平台中，所述加热电路铺设在所述测试平台的正下方，所述加热电路和循环水冷装置受控于所述高低温数显精密控温仪；所述可编程直流电源与探测模块连接，为测试模块提供测试输入信号；

所述探测模块包括精密三维探针台和可变焦光分布测试相机；所述精密三维探针台上设置有探针台显微镜，所述探针台显微镜上设置有拍摄设备；所述拍摄设备和可变焦光分布测试相机与终端连接，将探测到的数据参数和影像传输到终端上。

2.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述测试平台上设置有测试区域，所述测试区域表面铺有一层磁铁。

3.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述测试平台上设置有测试件固定装置。

4.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述测试平台上设置有温度传感器，所述温度传感器与所述高低温数显精密控温仪相连接。

5.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述可编程直流电源通过USB或GPIB接口与终端进行连接。

6.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述高低温数显精密控温仪内设报警装置和跳闸装置。

7.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述精密三维探针台上配置有探针。

8.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述探针台显微镜上配备有LED环形光源。

9.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述可变焦光分布测试相机通过3.0USB接口与终端连接。

10.根据权利要求1所述的显微光分布测试系统，其特征在于，所述显微光分布测试系统还配有防干扰暗黑箱。