[实用新型]一种显微光分布测试系统

说明书

本实用新型公开了一种显微光分布测试系统，所述显微光分布测试系统包括测试平台、调节模块、探测模块和终端；其中，测试件固定在所述测试平台上，所述调节模块对测试平台的方位、温度和探测模块测试输入条件进行调节；所述探测模块对所述测试件进行探测，其探测到的数据参数和影像传输到终端，终端对数据参数和影像分析处理。通过本实用新型提供的显微光分布测试系统，可准确找出测试件的问题和缺陷。

技术领域

本实用新型涉及光发布测试领域，具体而言，涉及一种显微光分布测试系统。

背景技术

显微光学成像，是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后，能够得到微小样品的放大图像的技术。所得图像可以通过目镜直接用眼睛观察，也可以用感光板或数字化图像探测器如CCD、CMOS进行记录，还可以在计算机上进行显示和分析处理。

随着电子器件工业领域的迅速发展，电子器件的检测设备也跟随着迅速发展，特别是基于显微光学成像原理制成的测试设备如近场光学测试设备深受电子器件厂家的青睐。但是，传统近场光学测试设备存在设备价格高昂、图像质量一般以及不能处理测试数据和图像能力较差的不足，限制了显微光学成像技术更大范围地应用。

实用新型内容

为了克服传统近场光学测试设备价格高昂、图像质量一般以及不能处理测试数据和图像能力较差的不足，本实用新型提供了一种显微光分布测试系统，所述显微光分布测试系统测试价格合理、图像质量号、智能化程度高且处理数据和图像能力强。

相应的，本实用新型实施例提供了一种显微光分布测试系统，所述显微光分布测试系统包括测试平台、调节模块、探测模块和终端；其中，测试件固定在所述测试平台上，所述调节模块对测试平台的方位、温度和探测模块测试输入条件进行调节；所述探测模块对所述测试件进行探测，其探测到的数据参数和影像传输到终端；

所述调节模块包括万向调整样品台、循环水冷装置、加热电路、高低温数显精密控温仪以及可编程直流电源；其中，所述测试平台设置在所述万向调整样品台上；所述循环水冷装置环绕地设置在测试平台中，所述加热电路铺设在所述测试平台的正下方，所述加热电路和循环水冷装置受控于所述高低温数显精密控温仪；所述可编程直流电源与探测模块连接，为测试模块提供测试输入信号；

所述探测模块包括精密三维探针台和可变焦光分布测试相机；所述精密三维探针台上设置有探针台显微镜，所述探针台显微镜上设置有拍摄设备；所述拍摄设备和可变焦光分布测试相机与终端连接，将探测到的数据参数和影像传输到终端上。

可选的实施方式，所述测试平台上设置有测试区域，所述测试区域表面铺有一层磁铁。

可选的实施方式，所述测试平台上设置有测试件固定装置。

可选的实施方式，所述测试平台上设置有温度传感器，所述温度传感器与所述高低温数显精密控温仪相连接。

可选的实施方式，所述可编程直流电源通过USB或GPIB接口与终端进行连接。

可选的实施方式，所述高低温数显精密控温仪内设报警装置和跳闸装置。

可选的实施方式，所述精密三维探针台上配置有探针。

可选的实施方式，所述探针台显微镜上配备有LED环形光源。

可选的实施方式，所述可变焦光分布测试相机通过3.0USB接口与终端连接。

可选的实施方式，所述显微光分布测试系统还配有防干扰暗黑箱。