[实用新型]一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置

权利要求书

1.一种步进式移动平台，其特征在于，包括底部支撑板(1)、中部滑板(2)和上部支撑台面(3)，所述支撑台面(3)上设有支撑圆环(4)，所述中部滑板(2)分别与所述底部支撑板(1)和所述上部支撑台面(3)滑动步进连接，并且所述底部支撑板(1)相对于中部滑板(2)的滑动方向与所述上部支撑台面(3)相对于中部滑板(2)的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环(4)与所述支撑台面(3)转动步进连接。

2.根据权利要求1所述的步进式移动平台，其特征在于，所述中部滑板(2)上部与所述上部支撑台面(3)通过两侧平行设置的第一滑动导向机构滑动步进连接，所述中部滑板(2)下部与所述底部支撑板(1)通过与所述第一滑动导向机构垂直的方向平行设置的第二滑动导向机构滑动步进连接。

3.根据权利要求2所述的步进式移动平台，其特征在于，所述第一滑动导向机构包括设置在所述中部滑板(2)上部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述上部支撑台面(3)两侧的导轨或滑槽；所述第二滑动导向机构包括设置在所述中部滑板(2)下部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述底部支撑板(1)两侧的导轨或滑槽。

4.根据权利要求1所述的步进式移动平台，其特征在于，所述上部支撑台面(3)上设有圆形阶梯槽(303)，所述圆形阶梯槽(303)的台阶支撑所述支撑圆环(4)，使得所述支撑圆环(4)容置在所述圆形阶梯槽(303)内且所述支撑圆环(4)周向与所述圆形阶梯槽(303)周向之间具有转动步进连接机构。

5.根据权利要求3所述的步进式移动平台，其特征在于，所述步进为在导轨或滑槽一者上设置有若干间隔凹孔，在另一者上设置有伸缩卡止机构(6)，所述伸缩卡止机构(6)包括垂直于导轨或滑槽的长度方向设置的凹槽内的弹簧和弹簧外侧设置的钢珠。

6.根据权利要求4所述的步进式移动平台，其特征在于，所述转动步进连接机构包括台阶上部的槽周向间隔设置有若干定位凹孔(304)或伸缩卡止机构(6)，以及所述支撑圆环(4)上设置有伸缩卡止机构(6)或若干定位凹孔(304)，所述伸缩卡止机构(6)包括所述支撑圆环(4)径向方向设置的凹槽内的弹簧和弹簧外侧设置的钢珠。

7.根据权利要求5所述的步进式移动平台，其特征在于，所述第一滑动导向机构上设有5个间隔凹孔和一个与之配合的伸缩卡止机构；所述第二滑动导向机构上也设有5个间隔凹孔和一个与之配合的伸缩卡止机构(6)，所述第一滑动导向机构和所述第二滑动导向机构上的5个所述凹孔的间距均依次为14.9mm、28.3mm、28.3mm和14.9mm。

8.根据权利要求5所述的步进式移动平台，其特征在于，所述第一滑动导向机构和/或所述第二滑动导向机构的两端设有限位部件(5)。

9.根据权利要求6所述的步进式移动平台，其特征在于，所述定位凹孔(304)的数量为12个，均匀分布在所述圆形阶梯槽(303)周边，每两个相邻的所述定位凹孔(304)所对应的圆心角为30°。

10.一种锗单晶位错密度测试装置，其特征在于，所述装置包括权利要求1-9任意一项所述的步进式移动平台。