[实用新型]一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置

说明书

本实用新型提供了一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。该装置包括上述的步进式移动平台。采用该装置测试锗单晶的位错密度，操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，解决了现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。

技术领域

本实用新型涉及位错密度测试装置技术领域，具体涉及一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。

背景技术

低位错密度的锗单晶广泛应用于太阳能领域，位错密度是材料核心指标，目前位错密度的测试遵循标准采用九点测量法。

图1示出了一种依据测试标准所采用的九点法测量套板，套板贴于测试片测量测面上，通过套板上的九个定位孔读取位错数量。为使测量结果更真实的反映测量面的整体位错密度状况，采用三组九点法进行测试，即通过套板围绕圆心分别旋转30°、60°后再次进行读数，最后取三次读数平均值作为测试结果。此种测量方法较为准确可靠，但是此方式在测试过程中存在以下问题：

1、贴有九孔套板的测试片置于常用显微镜移动平台上，通过调节手轮调节平台的位置。由于定位孔孔径较小，使定位孔和显微镜镜头对齐需要多次调节显微镜移动平台，特别对于倒置显微镜来讲，需要测试人员从平台底部观察调节。套板偏转时，需要取下套板重新贴合，操作繁琐，工作效率较低。

2、由于加工精度的限制，套板九个定位孔边缘轮廓度不佳，显微镜内所呈现的视野边缘模糊，易造成读数偏差。

因此，针对以上问题，开发一种操作简便、定位准确、读数精准且工作效率高的用于位错密度测试的装置是十分必要的。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置，设有该步进式移动平台的装置可用于锗单晶位错密度的测试，并且采用该装置测试锗单晶的位错密度，具有操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，以解决现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的第一方面，提供了一种步进式移动平台。

该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。

进一步的，所述中部滑板上部与所述上部支撑台面通过两侧平行设置的第一滑动导向机构滑动步进连接，所述中部滑板下部与所述底部支撑板通过与所述第一滑动导向机构垂直的方向平行设置的第二滑动导向机构滑动步进连接。

进一步的，所述第一滑动导向机构包括设置在所述中部滑板上部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述上部支撑台面两侧的导轨或滑槽；所述第二滑动导向机构包括设置在所述中部滑板下部两侧的滑槽或导轨以及对应设置在所述底部支撑板两侧的导轨或滑槽。

进一步的，所述滑槽的纵向截面或横向截面为半圆形，且半圆形截面的开口朝向外侧。

进一步的，所述导轨的纵向截面或横向截面为半圆形，且半圆形截面的开口朝向所述滑槽的截面开口。

进一步的，所述上部支撑台面上设有圆形阶梯槽，所述圆形阶梯槽的台阶支撑所述支撑圆环，使得所述支撑圆环容置在所述阶梯槽内且所述支撑圆环周向与所述阶梯槽周向之间具有转动步进连接机构。