[实用新型]用于芯片推拉力测量的简易测试系统

权利要求书

1.一种用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于包括：

承载台，其至少用以安置固定待测芯片；

运动导向和角度调节机构，其与所述的承载台连接，并至少能够使所述承载台于多个平面方向内运动并能够调节承载台倾斜角度；

推拉力测量机构，其至少用于测量待测芯片推拉力值；

视觉监测对准机构，其至少用于使推拉力测量机构的探针与安置于承载台上的待测芯片对准连接；

底座，所述运动导向和角度调节机构、推拉力测量机构以及视觉监测对准机构均可拆卸地安装在所述底座上。

2.根据权利要求1所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述运动导向和角度调节机构包括至少能够使所述承载台于第一方向运动的第一运动导向机构、至少能够使所述承载台于第二方向运动的第二运动导向机构、至少能够使所述承载台于第三方向运动的第三运动导向机构、至少用于调节所述承载台倾斜角度的角度调节机构，其中，所述第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述承载台以滚动或滑动的方式直接与所述第一运动导向机构、第二运动导向机构和第三运动导向机构中的任一者配合连接。

4.根据权利要求2所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述第一运动导向机构设置在第二运动导向机构上方，所述第三运动导向机构设置在第二运动导向机构上方，所述承载台设置在所述第三运动导向机构上方，所述第一运动导向机构、第二运动导向机构和第三运动导向机构中任意相邻的两者中的一者以滑动或滚动的方式与另一者配合连接。

5.根据权利要求3或4所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述第一运动导向机构、第二运动导向机构和第三运动导向机构中的任一者包括导轨或导向轴。

6.根据权利要求2所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述角度调节结构包括设置于所述承载台下方的高度可调的支撑柱。

7.根据权利要求6所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述支撑柱与所述承载台螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述推拉力测量机构包括推拉力表以及固定座，所述推拉力表设置在固定座上，所述固定座夹设在所述底座上。

9.根据权利要求1所述的用于芯片推拉力测量的简易测试系统，其特征在于：所述视觉监测对准机构包括摄像装置，所述摄像装置的摄像头对准待测芯片。