[实用新型]一种晶圆抛光机零件加工工装

权利要求书

1.一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，包括支撑板、工作台板和工装基板；所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；

所述的工装基板上设置有工件槽和张紧槽，所述的工件槽位于所述的工装基板的表面，承载代加工的工件；所述的张紧槽位于所述的工件槽的一侧，延伸至所述的工装基板的内部。

2.如权利要求1所述的一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，所述的工件槽和张紧槽均设置有多个，均匀分布在所述的工装基板上。

3.如权利要求2所述的一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，所述的工件槽与张紧槽间隔分布。

4.如权利要求2所述的一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，每一个所述的张紧槽上设置有锁紧螺母，所述的锁紧螺母位于所述的张紧槽的上方，与所述的张紧槽螺纹连接。

5.如权利要求4所述的一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，所述的锁紧螺母设置为锥形螺纹，与所述的张紧槽相配合，向所述的张紧槽内拧紧时，所述的张紧槽向两侧扩张。

6.如权利要求1所述的一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，所述的工作台板上设置有避位槽，所述的避位槽位置与所述的工装基板相对应，贯穿所述的工作台板。