[实用新型]一种晶圆抛光机零件加工工装

说明书

本实用新型提供的一种晶圆抛光机零件加工工装，一种晶圆抛光机零件加工工装，包括支撑板、工作台板和工装基板；所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接。本实用新型提供的一种晶圆抛光机零件加工工装，利用工装板的锁紧螺母对张紧槽进行扩张，在扩张时压紧工件槽，从而夹紧待加工的工件，加工时利用避位槽使得产品加工不受工装外形的影响，这种不直接接触工件的夹紧方式可以防止装夹过程中工件产生的变形，以及表面受损，提高产品精度和光洁度。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆抛光机零件加工工装。

背景技术

目前，CPU使用的晶圆产品在电子产业内被广泛运用，晶圆的加工在生产工艺中需要进行高精度的抛光，为此就需要抛光机的核心零件表面粗糙度要高，如此就不能采用传统的工装对产品进行定位，传统的装夹不可以避免的接触产品表面，影响加工精度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种晶圆抛光机零件加工工装，通过工装定位产品，利用本身的结构保证工装不直接对产品进行夹持，提高产品的表面光洁度，从而满足高精度的抛光机使用。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种晶圆抛光机零件加工工装，包括支撑板、工作台板和工装基板；所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；

所述的工装基板上设置有工件槽和张紧槽，所述的工件槽位于所述的工装基板的表面，承载代加工的工件；所述的张紧槽位于所述的工件槽的一侧，延伸至所述的工装基板的内部。

进一步的，所述的工件槽和张紧槽均设置有多个，均匀分布在所述的工装基板上。

进一步的，所述的工件槽与张紧槽间隔分布。

进一步的，每一个所述的张紧槽上设置有锁紧螺母，所述的锁紧螺母位于所述的张紧槽的上方，与所述的张紧槽螺纹连接。

进一步的，所述的锁紧螺母设置为锥形螺纹，与所述的张紧槽相配合，向所述的张紧槽内拧紧时，所述的张紧槽向两侧扩张。

进一步的，所述的工作台板上设置有避位槽，所述的避位槽位置与所述的工装基板相对应，贯穿所述的工作台板。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种晶圆抛光机零件加工工装，利用工装板的锁紧螺母对张紧槽进行扩张，在扩张时压紧工件槽，从而夹紧待加工的工件，加工时利用避位槽使得产品加工不受工装外形的影响，这种不直接接触工件的夹紧方式可以防止装夹过程中工件产生的变形，以及表面受损，提高产品精度和光洁度。

附图说明

图1示出本实用新型的主视图。

其中：1.支撑板、2.工作台板、3.工装基板、4.工件槽、5.张紧槽、6.锁紧螺母、7.避位槽。

具体实施方式

如图所示，一种晶圆抛光机零件加工工装，包括支撑板1、工作台板2和工装基板3；所述的支撑板1位于所述的工作台板2的下方，与所述的工作台板2固定连接；所述的工装基板3位于所述的工作台板2上，与所述的工作台板2固定连接；

所述的工装基板3上设置有工件槽4和张紧槽5，所述的工件槽4位于所述的工装基板3的表面，承载代加工的工件；所述的张紧槽5位于所述的工件槽4的一侧，延伸至所述的工装基板3的内部。

进一步的，所述的工件槽4和张紧槽5均设置有多个，均匀分布在所述的工装基板3上。

进一步的，所述的工件槽4与张紧槽5间隔分布。