[实用新型]一种溅射靶材输送箱

权利要求书

1.一种溅射靶材输送箱，包括箱体（1）和箱盖（2），其特征在于，所述箱体（1）一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽（3），所述安置槽（3）内壁固定有缓冲层（4），所述安置槽（3）底部至少固定有一个承重梁（5），所述箱体（1）开口周侧开设有多个与所述安置槽（3）连通的预设槽（6），所述承重梁（5）远离所述安置槽（3）底部的侧面高度高于所述预设槽（6）底面。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述安置槽（3）两端均固定有端块（7），所述端块（7）上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽（8）。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述限位槽（8）底面高度与所述承重梁（5）远离所述安置槽（3）底部的侧面高度相同。

4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述端块（7）上开设有夹具槽（9），所述夹具槽（9）的深度大于所述限位槽（8）深度。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述安置槽（3）开口处周向设置有插接条（10），所述箱盖（2）上开设有与所述插接条（10）插接配合的插接槽（11），所述箱体（1）周侧固定有多个便于固定所述箱盖（2）的锁扣（12）。

6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述箱盖（2）为多段式，且所述箱盖（2）相互靠近的侧面固定有密封片（13）。

7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述箱体（1）周侧固定有多个把手（14）和防撞管（15）。

8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱，其特征在于，所述预设槽（6）内插接连接有插板（16），所述箱体（1）底部固定有多个箱脚（17）。