[实用新型]一种溅射靶材输送箱有效

专利信息
申请号: 201822060621.5 申请日: 2018-12-08
公开(公告)号: CN209535942U 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 卢建栋;张小伟;张扬 申请(专利权)人: 东曹(上海)电子材料有限公司
主分类号: B65D81/05 分类号: B65D81/05;B65D25/52;B65D25/10;B65D55/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201600 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 安置槽 溅射靶材 承重梁 输送箱 预设槽 本实用新型 开口设置 箱体开口 缓冲层 叉车 底面 放入 内壁 箱盖 卸货 连通 取出 侧面
【说明书】:

本实用新型公开了一种溅射靶材输送箱,涉及输送箱领域,包括箱体和箱盖,箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,安置槽内壁固定有缓冲层,安置槽底部固定有多个承重梁,箱体开口周侧开设有多个与安置槽连通的预设槽,承重梁远离安置槽底部的侧面高度高于预设槽底面。针对现有技术存在卸货不便的问题,本实用新型通过设置承重梁和预设槽,便于采用叉车将安置槽内的溅射靶材取出或放入。

技术领域

本实用新型涉及输送箱领域,更具体地说,它涉及一种溅射靶材输送箱。

背景技术

溅射靶材主要包括靶材和背板,靶材和背板通过钎焊的方式结合起来。其中,背板可被循环利用,溅射靶材为易损件,需要装箱后进行运输。

对于现有的输送箱,如专利公开号为CN107934142A的中国专利,其公开了一种螺旋桨加工用移动输送箱,包括箱体,箱体的顶部卡接有箱盖,箱体的内侧壁均粘接有防护层,箱体的两侧内壁均开设有滑槽,两个滑槽的内侧顶端和底端之间均固定连接有导向杆,两个导向杆上均套接有第一滑块、第二滑块和连接弹簧,第一滑块位于第二滑块的下方,连接弹簧位于第一滑块和第二滑块之间,连接弹簧的顶端固定连接在第二滑块的下表面,箱体底部连接有万向轮。

采用现有技术运送溅射靶材,需要将溅射靶材放置于箱体内输送,由于箱体开口深、溅射靶材的尺寸和质量大,难以将放置于箱体内的溅射靶材取出,造成卸货不便的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在卸货不便的问题,本实用新型的目的是提供一种溅射靶材输送箱,其具有方便装卸和取货的优点。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

一种溅射靶材输送箱,包括箱体和箱盖,所述箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,所述安置槽内壁固定有缓冲层,所述安置槽底部固定有多个承重梁,所述箱体开口周侧开设有多个与所述安置槽连通的预设槽,所述承重梁远离所述安置槽底部的侧面高度高于所述预设槽底面。

通过上述技术方案,使用时,溅射靶材放置于安置槽内的承重梁上输送。卸货时,先将箱盖打开,将叉车的插齿通过预设槽插入相邻承重梁之间,继而升起插齿,带动溅射靶材离开安置槽内,完成卸货;同理,反向操作即可完成装货作业;通过在安置槽内壁固定缓冲层,减轻溅射靶材与安置槽内壁之间的碰撞,从而提高输送的稳定性,有效避免溅射靶材与安置槽内壁碰撞受损。

进一步的,所述安置槽两端均固定有端块,所述端块上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽。

通过上述技术方案,限位槽限制溅射靶材在安置槽内的位置,避免溅射靶材在输送过程中晃动,提高输送的稳定性。

进一步的,所述限位槽底面高度与所述承重梁远离所述安置槽底部的侧面高度相同。

通过上述技术方案,承重梁与限位槽底部均与溅射靶材接触,形成多点平稳支撑,避免溅射靶材在输送过程中受自重影响而弯曲。

进一步的,所述端块上开设有夹具槽,所述夹具槽的深度大于所述限位槽深度。

通过上述技术方案,开设夹具槽便于放置夹具,利用夹具夹紧溅射靶材的一端,便于通过吊起的方式卸货。

进一步的,所述安置槽开口处周向设置有插接条,所述箱盖上开设有与所述插接条插接配合的插接槽,所述箱体周侧固定有多个便于固定所述箱盖的锁扣。

通过上述技术方案,输送过程中,箱盖利用插接槽与插接条之间的插接配合盖在箱体的安置槽开口处,再利用锁扣,将箱盖与箱体固定,有效避免输送过程中,箱盖相对于箱体滑移。

进一步的,所述箱盖为多段式,且所述箱盖相互靠近的侧面固定有密封片。

通过上述技术方案,多段式箱盖设计,可减轻单个箱盖的重量便于取下;设置密封片用于增强箱盖之间的密封性,避免雨水渗入。

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