[实用新型]新型真空吸盘液氮冷却夹具

权利要求书

1.一种新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：包括夹具本体，所述夹具本体包括上层夹具(1)和下层夹具(2)，所述上层夹具与所述下层夹具可拆卸连接；

所述上层夹具的上表面设有若干纵横交错的密封槽(3)，所有所述横向的密封槽相互平行，所有所述纵向的密封槽相互平行，若干纵横交错的密封槽在上层夹具的上表面围合成若干密封单元(4)，所述密封单元的中心具有通气孔(5)；在所述密封槽内设置密封条(7)围隔成真空吸附区域；

所述下层夹具的上表面凹陷形成凹腔，所述凹腔内设有冷却回路和堵头组件(6)，所述堵头组件与通气孔一一对应，所述冷却回路包括冷却管道和若干冷却环(8)，所述冷却环一一对应设于堵头组件的外周，所述冷却管道包括冷却总管(9)和冷却主管(10)，相邻两列冷却环之间设有冷却主管，所述冷却主管分别通过冷却支管(11)连通左右两侧的冷却环，所有所述冷却主管与冷却总管连通，所述冷却总管连通外部的液氮装置；

所述下层夹具设有真空管道(21)，所述真空管道连接真空泵。

2.根据权利要求1所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述堵头组件(6)包括堵头连杆(61)、堵头(62)和套管(63)，所述套管的上端具有开口且下端封闭，所述套管的下端与凹腔的底壁固定连接，所述堵头连杆的上端固定连接堵头，下端位于套管内且通过弹簧(64)与其底部连接；所述堵头为密封塑胶头，所述堵头连杆的下端与套管之间设有定位结构。

3.根据权利要求2所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述定位结构具体为：所述堵头连杆的其中之一侧壁的下端设有横向的第一凸条(611)，所述套管的其中之一内壁设有与第一凸条相对应的第二凸条(631)，所述第一凸条和第二凸条的截面皆为弧形。

4.根据权利要求1所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述上层夹具与所述下层夹具的连接处设有密封条。

5.根据权利要求2所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述通气孔为圆形。

6.根据权利要求5所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述堵头设为圆柱体，所述圆柱体的直径与所述通气孔的直径相同。

7.根据权利要求6所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述圆柱体的下端向外围延伸形成一圈密封边(621)，所述密封边的直径大于圆柱体的直径。

8.根据权利要求2所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所述套管为正方形套管，所述堵头连杆为正方形的堵头连杆。

9.根据权利要求1所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：实现所述上层夹具与所述下层夹具之间可拆卸连接的方式为卡接。

10.根据权利要求1所述的新型真空吸盘液氮冷却夹具，其特征在于：所有所述冷却支管皆设有控制冷却环通入液氮的阀门。