[实用新型]靶材冷却装置有效
| 申请号： | 201822066979.9 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN209243163U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 何文;薛超;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密闭空间 靶材 靶材冷却 流体 对靶 冷却 基板表面 基板 水袋 连通 物理气相沉积 机台 本实用新型 泵入流体 冷却作用 流体泵 密封盖 磁铁 体泵 抽出 盛装 优化 生产 | ||
1.一种靶材冷却装置，其特征在于，包括：
密封盖，安装至靶材基板，用于在所述靶材基板表面形成密闭空间；
流体泵，连通至所述密闭空间，用于向所述密闭空间内泵入流体，或抽出所述密闭空间内的流体，以冷却所述靶材。
2.根据权利要求1所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括水袋，设置于所述密封盖与所述靶材基板之间。
3.根据权利要求2所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括压板，设置于所述密封盖与所述水袋之间，通过弹性连接件连接至所述密封盖，用于顶压所述水袋，使水袋与所述靶材基板相接触。
4.根据权利要求3所述的靶材冷却装置，其特征在于，所述弹性连接件包括弹簧螺丝。
5.根据权利要求1所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括密封圈，设置于所述密封盖与所述靶材基板相接触的位置，以保证所述密闭空间的密封性。
6.根据权利要求1所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括流体管路，设置于所述流体泵和所述密闭空间之间，用于连通所述流体泵和所述密闭空间。
7.根据权利要求6所述的靶材冷却装置，其特征在于，所述流体管路包括：
通入管路，设置于所述流体泵和所述密闭空间之间，连通所述流体泵和所述密闭空间，用于供流体泵将流体泵入所述密闭空间；
通出管路，设置于所述流体泵和所述密闭空间之间，连通所述流体泵和所述密闭空间，用于供流体泵将密闭空间内的流体抽出所述密闭空间。
8.根据权利要求7所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括温度侦测器，设置于所述通出管路上，用于对流经所述通出管路的流体的温度进行监测。
9.根据权利要求7所述的靶材冷却装置，其特征在于，还包括流量控制阀，设置于所述通出管路上，用于控制所述流体泵自所述密闭空间抽出的流体的量。
10.根据权利要求1所述的靶材冷却装置，其特征在于，所述流体泵包括：
压缩机，连通至所述密闭空间，用于将流体泵入所述密闭空间，以及用于将密闭空间内的流体抽出。
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