[实用新型]一种真空腔室与一种观察窗

权利要求书

1.一种真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；

在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。

2.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，在所述挡片上安装有温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述真空腔室进行温度的实时监测。

3.根据权利要求2所述的真空腔室，其特征在于，所述温度检测装置安装在所述挡片靠近所述观察窗的一侧。

4.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述观察窗与所述溅射系统区域的接口处通过焊接密封处理。

5.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述观察窗上安置有观察窗片，所述观察窗片与所述挡片均为圆形，其中，所述观察窗片所在的圆形孔道的内径不小于所述挡片的直径，所述观察窗片的直径不大于所述挡片的直径。

6.根据权利要求5所述的真空腔室，其特征在于，还包括螺丝与胶圈，所述观察窗片通过所述螺丝与所述胶圈安置在所述观察窗上。

7.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述旋动手柄设置于所述真空腔室的外部，所述旋动手柄通过旋转轴与所述挡片相连，所述旋转轴一端通过焊接连接在所述挡片底部，所述旋转轴的另外一端连接在所述旋动手柄上；

其中，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全竖直时，所述挡片完全遮挡所述观察窗的观察窗片，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全水平时，所述挡片完全不遮挡所述观察窗的观察窗片。

8.根据权利要求7所述的真空腔室，其特征在于，还包括安置在所述旋动手柄上的按钮，所述按钮用于控制所述旋动手柄的固定状态与活动状态。

9.根据权利要求7所述的真空腔室，其特征在于，所述挡片为不锈钢材质，所述观察窗片为钢化玻璃。

10.一种观察窗，其特征在于，包括：挡片，旋动手柄，温度检测装置，观察窗片；

所述观察窗设置有所述观察窗片，所述观察窗片用于观察所述观察窗所安置的环境的内部；

在所述观察窗片的一侧设置所述挡片，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度；

在所述挡片一侧安装有所述温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述观察窗所安置的环境的内部进行温度的实时监测。