[实用新型]一种真空腔室与一种观察窗

说明书

本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。本申请真空腔室的观察窗设置于溅射系统区域，观察窗的安装位置适合观察者清楚观察溅射系统区域的辉光放电情况，同时在不需要观察时，采用挡片将所述观察窗挡住，防止溅射系统区域对观察窗镀膜，同时还能减少因辉光放电对人体的伤害。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空腔室与一种观察窗。

背景技术

真空腔室在生产加工中应用较为广泛，其应用领域主要是将需要在真空条件生产或者处理的工艺在真空腔室内部进行，一般在真空腔室都会设计有观察窗，用以实时观察真空腔室内部的工艺进程或者处理过程，从而及时发现在加工过程中的问题。

现有的真空腔室观察窗主要是设计在真空腔室上部的卷绕区域，这样设计能够有效减少真空腔室的下部的溅射系统区域将观察窗的透明观察窗片镀膜的问题，这是由于如果观察窗的透明观察窗片一旦被镀膜，就不能通过观察窗观察溅射系统区域的辉光放电情况，但是这样将观察窗设计在真空腔室上部的卷绕区域，一方面观察窗位置过高不利于观察者观察，另一方面观察窗距离溅射系统区域较远，不能清晰观察到溅射系统区域的辉光放电情况。

实用新型内容

本申请提供一种真空腔室与一种观察窗，以解决现有真空腔室的观察窗不便于观察真空腔室内部溅射系统区域的辉光放电情况的缺陷。

本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；

在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。

可选的，在所述挡片上安装有温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述真空腔室进行温度的实时监测。

可选的，所述温度检测装置安装在所述挡片靠近所述观察窗的一侧。

可选的，所述观察窗与所述溅射系统区域的接口处通过焊接密封处理。

可选的，所述观察窗上安置有观察窗片，所述观察窗片与所述挡片均为圆形，其中，所述观察窗片所在的圆形孔道的内径不小于所述挡片的直径，所述观察窗片的直径不大于所述挡片的直径。

可选的，还包括螺丝与胶圈，所述观察窗片通过所述螺丝与所述胶圈安置在所述观察窗上。

可选的，所述旋动手柄设置于所述真空腔室的外部，所述旋动手柄通过旋转轴与所述挡片相连，所述旋转轴一端通过焊接连接在所述挡片底部，所述旋转轴的另外一端连接在所述旋动手柄上；

其中，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全竖直时，所述挡片完全遮挡所述观察窗的观察窗片，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全水平时，所述挡片完全不遮挡所述观察窗的观察窗片。

可选的，还包括安置在所述旋动手柄上的按钮，所述按钮用于控制所述旋动手柄的固定状态与活动状态。

可选的，所述挡片为不锈钢材质，所述观察窗片为钢化玻璃。

本申请还提供一种观察窗，包括：挡片，旋动手柄，温度检测装置，观察窗片；

所述观察窗设置有所述观察窗片，所述观察窗片用于观察所述观察窗所安置的环境的内部；

在所述观察窗片的一侧设置所述挡片，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度；