[实用新型]不溶性阳极电镀铜设备

权利要求书

1.一种不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，包括供电电源、电镀阳极、电镀槽体以及对预镀铜件进行固定的电镀挂具；在所述电镀槽体内填充有电镀液，所述电镀阳极与供电电源的阳极相连，所述供电电源的阴极与电镀挂具相连，且在所述预镀铜件与电镀阳极之间形成电镀电场；在电镀槽体内且靠近电镀阳极的位置上设置有至少一层用于隔开电镀阳极与电镀挂具的聚酯纤维布。

2.根据权利要求1所述的不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，该设备还包括用于展平且固定该聚酯纤维布的放置架，所述放置架可抽插地放置于电镀槽体内，所述聚酯纤维布固定在放置架上。

3.根据权利要求2所述的不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，在所述电镀槽体的两相对的侧壁上设置有与放置架相适配的滑槽，所述放置架通过该滑槽抽插于该电镀槽体内。

4.根据权利要求3所述的不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，在滑槽的顶部插入部位设置为V形导向槽，所述放置架通过该V形导向槽滑入滑槽内。

5.根据权利要求1所述的不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，所述电镀阳极为铱钽阳极、白金钛阳极或钛包铜阳极的任一种。

6.根据权利要求1所述的不溶性阳极电镀铜设备，其特征在于，所述预镀铜件为电路板、晶圆或者玻璃面板中的任一种。