[实用新型]不溶性阳极电镀铜设备

说明书

本实用新型公开了一种不溶性阳极电镀铜设备，该设备包括供电电源、电镀阳极、电镀槽体以及对预镀铜件进行固定的电镀挂具；在所述电镀槽体内填充有电镀液，所述电镀阳极与供电电源的阳极相连，所述供电电源的阴极与电镀挂具相连，且在预镀铜件与电镀阳极之间形成电镀电场；在电镀槽体内且靠近电镀阳极的位置上设置有至少一层用于完全隔开电镀阳极与电镀挂具的聚酯纤维布。本实用新型通过聚酯纤维布的阻隔特性使得氧气与光亮剂相隔开，大大减少了光亮剂的消耗量；另一方面，聚酯纤维布区别于传统所使用的离子交换膜，其自身不会对电镀液中电力线的分布造成影响，确保电镀件镀层厚度的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，尤其涉及一种不溶性阳极电镀铜设备。

背景技术

电路板、晶圆、或者液体面板等通常电镀铜制程使其表面形成导电铜体。在电镀铜制程中，阳极利用惰性材料制成，比如铱钽阳极、钛包铜阳极，并以氧化铜粉末或其它铜盐当作铜源，确保镀液中铜离子的数量。另外，为了提高镀层的光亮度，加快电沉积速度，需要在电镀液中增入光亮剂，然而，在实际工作过程中，阳极附近会产生大量氧根负离子而导致光亮剂被大量消耗，需持续不断的增入光亮剂，从而导致电镀成本的升高。为了解决上述问题，业内部分企业在电镀槽内增设了离子交换膜，利用其阻隔特性来降低氧根负离子以及析出氧气对光亮剂的消耗。然而，由于离子交换膜的使用会影响电镀液中电力线的分布均匀性，从而导致电镀件表面的镀膜厚度均匀性较差。且离子交换膜自身价格较昂贵，提高了生产成本。因而，亟待技术人员解决上述问题。

实用新型内容

针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型提供一种投入成本较低、电镀件镀膜厚度均匀性好及单位工作时间内消耗光亮剂量较少的不溶性阳极电镀铜设备。

为实现上述目的，本实用新型提供一种不溶性阳极电镀铜设备，包括供电电源、电镀阳极、电镀槽体以及对预镀铜件进行固定的电镀挂具；在所述电镀槽体内填充有电镀液，所述电镀阳极与供电电源的阳极相连，所述供电电源的阴极与电镀挂具相连，且在所述预镀铜件与电镀阳极之间形成电镀电场；在电镀槽体内且靠近电镀阳极的位置上设置有至少一层用于隔开电镀阳极与电镀挂具的聚酯纤维布。

其中，该设备还包括用于展平且固定该聚酯纤维布的放置架，所述放置架可抽插地放置于电镀槽体内，所述聚酯纤维布固定在放置架上。

其中，在所述电镀槽体的两相对的侧壁上设置有与所述放置架相适配的滑槽，所述放置架通过该滑槽抽插于该电镀槽体内。

其中，在滑槽的顶部插入部位设置为V形导向槽，所述放置架通过该V形导向槽滑入滑槽内。

其中，所述电镀阳极为铱钽阳极、白金钛阳极或钛包铜阳极的任一种。

其中，所述预镀铜件为电路板、晶圆或者玻璃面板中的任一种。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型提供的不溶性阳极电镀铜设备，该设备中在电镀槽体内且靠近电镀阳极的位置上设置有至少一层用于完全隔开电镀阳极与电镀挂具的聚酯纤维布，通过聚酯纤维布的阻隔特性使得氧气与光亮剂相隔开，大大减少了光亮剂的消耗量；另一方面，聚酯纤维布区别于传统所使用的离子交换膜，其自身不会对电镀液中电力线的分布造成影响，确保电镀件镀层厚度的均匀性。由此上述结构的改进，达到了投入成本较低、电镀件镀膜厚度均匀性好及单位工作时间内消耗光亮剂量较少等效果。

附图说明

图1为本实用新型的不溶性阳极电镀铜设备的结构示意图；

图2为本实用新型中滑槽的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地表述本实用新型，下面结合附图对本实用新型作进一步地描述。