[实用新型]一种防漏硅护盘及单晶炉有效
| 申请号： | 201822075740.8 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209114035U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王少辉;杨杰;王永利;姚建科;王江锋 | 申请（专利权）人： | 丽江隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 674802 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属板 单晶炉 炉体 硅液 防漏 护盘 本实用新型 安装孔 烧穿 坩埚 体内 安装孔位置 烧坏 大面积硅 紧固连接 叠层 零部件 泄漏 防护 破裂 | ||
1.一种防漏硅护盘，其特征在于，包括第一金属板和第二金属板，所述第一金属板和所述第二金属板叠层设置；
所述第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部；
所述第二金属板设置在所述第一金属板上，并位于所述单晶炉炉体内的坩埚的下方，所述第一金属板和所述第二金属板上还分别设置有与所述炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔；所述第二金属板为用于防止所述单晶炉内的硅液烧穿的金属板。
2.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述第一金属板为铜板。
3.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述第二金属板中的金属包括金属钼、钼钨合金、金属钨、金属钽、金属铌、金属铪、金属铬、金属钒、金属锆或金属钛中的至少一种。
4.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述第一金属板的厚度为3mm至5mm。
5.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述第二金属板的厚度为3mm至5mm。
6.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述安装孔包括用于安装加热电极的第一安装孔，所述加热电极的一端穿过所述第一安装孔，并外接电源，所述加热电极的另一端沿所述单晶炉内的侧壁设置。
7.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述安装孔包括用于安装坩埚托杆的第二安装孔，所述坩埚托杆的一端穿过所述第二安装孔与所述坩埚的底部固定连接。
8.按照权利要求1所述的防漏硅护盘，其特征在于，所述安装孔包括用于安装抽气管道的第三安装孔，所述抽气管道的一端穿过所述第三安装孔与所述单晶炉相连。
9.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求1至8任一所述防漏硅护盘。
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