[实用新型]一种防漏硅护盘及单晶炉

说明书

本实用新型提供了一种防漏硅护盘，包括第一金属板和第二金属板，第一金属板和第二金属板叠层设置，第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部。第二金属板设置在第一金属板上，并位于单晶炉炉体内的坩埚的下方，第一金属板和第二金属板上还分别设置有与炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔。第二金属板为用于防止单晶炉内的硅液烧穿的金属板。本实用新型还提供了一种单晶炉。采用了上述技术方案，第一金属板和第二金属板通过安装孔与炉体底部紧固连接，当坩埚破裂发生大面积硅液泄漏时，硅液流入防漏硅护盘的第二金属板上，由于第二金属板为防止硅液烧穿的金属板，可以对炉体底部进行防护，防止硅液烧坏炉体底部，对其它零部件造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及单晶制造技术领域，特别是涉及一种防漏硅护盘及单晶炉。

背景技术

在拉晶过程中，承装硅液的石英坩埚在发生破裂或其它原因时，会导致硅液泄漏，而传统的防漏硅护盘在硅液泄露方面基本没有好的保护，泄露的硅液会烧坏防漏硅护盘并流向炉体底部，而聚集在炉体底部的高温硅液会瞬间烧穿炉体底部的炉体底部护盘，对炉体部件造成损坏，严重的话会引起重大设备事故，甚至人身安全。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种防漏硅护盘及单晶炉。

本实用新型提供的防漏硅护盘，包括第一金属板和第二金属板，第一金属板和第二金属板叠层设置。第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部。第二金属板设置在第一金属板上，并位于单晶炉炉体内的坩埚的下方。第一金属板和第二金属板上还分别设置有与炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔。第二金属板为用于防止单晶炉内的硅液烧穿的金属板。

采用了上述技术方案，如果单晶炉在使用过程中发生硅液泄露，泄露的硅液会向下流动，并汇集在单晶炉的炉体底部的防漏硅护盘上，由于防漏硅护盘上具有用于防止硅液烧穿的金属板，因此可以对炉体底部进行防护，防止硅液烧坏炉体底部，并防止其它零部件造成损坏，加强对炉体底部其它零部件的保护。

优选地，第一金属板为铜板。

采用了上述技术方案，由于铜板的热传导性能极强，如果发生硅液溢流、泄漏，防漏硅护盘会迅速把防漏硅护盘上硅液的热量传导出去，使硅液迅速结晶凝固，对炉体底部其它零部件进一步保护。

优选地，第二金属板中的金属包括金属钼、钼钨合金、金属钨、金属钽、金属铌、金属铪、金属铬、金属钒、金属锆或金属钛中的至少一种。

采用了上述技术方案，第二金属板由上述一种金属或多种金属组成，由难熔金属组成的金属板在高温时不易与硅液发生化学反应，具有优异的化学稳定性和耐高温性能，硅液流入也不会烧穿，可以对炉体底部其它零部件进行有效的保护。

优选地，第一金属板的厚度为3mm至5mm。

采用了上述技术方案，防漏硅护盘的第一金属板的厚度为3mm至5mm，设置为该厚度，一方面可以保证其散热性能可以满足装置需要，另一方面该厚度还可以保证第一金属板在使用过程中具有相对较长的使用寿命。

优选地，第二金属板厚度为3mm至5mm。

采用了上述技术方案，第二金属板的厚度为3mm至5mm，由于第二金属板的成本较高，控制一定厚度，可以在较低成本下实现即使溢流硅液流入第二金属板上，也不会烧穿第二金属板和单晶炉炉体底部，可以对单晶炉炉体底部的其它零部件进行有效的保护。

优选地，安装孔包括用于安装加热电极的第一安装孔，加热电极的一端穿过第一安装孔，并外接电源，加热电极的另一端沿单晶炉内的侧壁设置。

采用了上述技术方案，加热电极的一端穿过第一安装孔，另一端沿单晶炉内的侧壁设置，该结构不仅可以使防漏硅护盘安装在炉体底部，使防漏硅护盘起到防护的作用，同时不影响单晶炉上加热电极的正常使用。