[实用新型]一种半导体产品的清洗机有效
申请号: | 201822077955.3 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN209266365U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 江富琴 | 申请(专利权)人: | 嘉兴中谷半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 314112 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工控机 超声波发生器 清洗液 半导体产品 本实用新型 超声波机构 温度传感器 加热板 清洗机 温度传感器检测 加热板通电 吊篮机构 干燥作业 工作效率 清洗机构 清洗效果 散热风扇 使用寿命 停止运行 温度保持 温度过高 顶盖 储液箱 电源线 观察窗 散热孔 支撑脚 散热 温热 工作台 停机 加热 水泵 断电 清洗 通电 配合 保证 | ||
1.一种半导体产品的清洗机,其特征在于:包括工作台(1),支撑脚(2),超声波机构(3),吊篮机构(4),清洗机构(5),水泵(6),储液箱(7),顶盖(8),观察窗(9),工控机(10)和电源线(11),所述支撑脚(2)采用四个,通过螺栓固定在工作台(1)的下方四角;所述清洗机构(5)通过螺栓固定在工作台(1)的上方右侧;所述顶盖(8)通过螺纹固定在清洗机构(5)的上方;所述观察窗(9)采用透明材质,嵌装在顶盖(8)的中间位置;所述工控机(10)通过螺栓固定在清洗机构(5)右侧的中间位置;所述电源线(11)嵌装在工控机(10)的下方,通过导线与工控机(10)相连;所述储液箱(7)通过螺栓固定在工作台(1)的上方,位于清洗机构(5)的左侧;所述水泵(6)通过螺栓固定在储液箱(7)的上方,通过管道与储液箱(7)相连;通过导线与工控机(10)相连;所述吊篮机构(4)卡接在清洗机构(5)的内部;所述超声波机构(3)通过螺栓固定在工作台(1)下方的中间位置。
2.如权利要求1所述的半导体产品的清洗机,其特征在于:所述超声波机构(3)包括超声波发生器(31),频率控制器(32),散热风扇(33)和散热孔(34),所述超声波发生器(31)通过螺栓固定在工作台(1)下方的中间位置;所述散热孔(34)采用多个,开设在超声波发生器(31)的右侧;所述频率控制器(32)通过螺栓固定在超声波发生器(31)的左侧;所述散热风扇(33)通过螺栓固定在超声波发生器(31)的右侧。
3.如权利要求2所述的半导体产品的清洗机,其特征在于:所述散热风扇(33)通过导线与工控机(10)相连,与散热孔(34)对齐;所述频率控制器(32)通过导线分别与超声波发生器(31)和工控机(10)相连;所述超声波发生器(31)通过导线与工控机(10)相连。
4.如权利要求1所述的半导体产品的清洗机,其特征在于:所述吊篮机构(4)包括吊篮(41),放置网(42),吊环(43)和提手(44),所述放置网(42)焊接在吊篮(41)的下方;所述吊环(43)采用两个,焊接在吊篮(41)上方的左右两侧;所述提手(44)采用两个,焊接在吊篮(41)上方的前后两侧。
5.如权利要求1所述的半导体产品的清洗机,其特征在于:所述清洗机构(5)包括清洗槽(51),吊耳(52),加热板(53),液位计(54),温度传感器(55)和进液口(56),所述清洗槽(51)右侧的下方设置有阀门;所述加热板(53)采用两个,通过螺栓固定在清洗槽(51)内部下方的两侧;所述液位计(54)通过螺栓固定在清洗槽(51)内部右侧的中间位置;所述吊耳(52)采用两个,焊接在清洗槽(51)内部的两侧,位于液位计(54)的上方,与吊环(43)匹配;所述进液口(56)开设在清洗槽(51)的左侧中间位置,通过管道与水泵(6)相连;所述温度传感器(55)通过螺栓固定在清洗槽(51)内部左侧的上方。
6.如权利要求5所述的半导体产品的清洗机,其特征在于:所述加热板(53),液位计(54)和温度传感器(55)通过导线分别与工控机(10)相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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