[实用新型]单晶炉热屏结构有效
申请号: | 201822079513.2 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN209227096U | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 吴建科 | 申请(专利权)人: | 中卫市银阳新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人: | 雷仕荣 |
地址: | 755000 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水冷 胆体 支撑环 水冷组件 体内 单晶炉 内胆体 屏蔽筒 热屏 水管 纵向温度梯度 本实用新型 单晶体 外胆体 内胆 外胆 连通 生长 | ||
1.一种单晶炉热屏结构,其特征在于,包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒,所述内胆体套设在外胆体内,所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环,所述水冷胆体套设在内胆体内,所述水管至少为两根,一端连通在水冷胆体上,另一端固定在支撑环上,所述支撑环位于水冷胆体的上方,所述屏蔽筒套设在水冷胆体内。
2.如权利要求1所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述外胆体、内胆体和水冷胆体均为筒型结构。
3.如权利要求2所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述外胆体的下端向内延伸,所述内胆体上端的直径大于其下端的直径。
4.如权利要求2所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述水冷胆体上端的直径大于其下端的直径。
5.如权利要求2所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述屏蔽筒上端的直径大于其下端的直径。
6.如权利要求1所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,还包括保温毡,所述保温毡填充在外胆体和内胆体之间。
7.如权利要求1所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述水管在支撑环上分别连接进水管和出水管,所述进水管和/或出水管上设置有流量计。
8.如权利要求1-7任一项所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述外胆体和内胆体均为石墨热屏蔽胆体。
9.如权利要求1-7任一项所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述水管为不锈钢水管。
10.如权利要求1-7任一项所述的单晶炉热屏结构,其特征在于,所述屏蔽筒为钼筒。
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