[实用新型]单晶炉热屏结构

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉热屏结构，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒，所述内胆体套设在外胆体内，所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环，所述水冷胆体套设在内胆体内，所述水管至少为两根，一端连通在水冷胆体上，另一端固定在支撑环上，所述支撑环位于水冷胆体的上方，所述屏蔽筒套设在水冷胆体内。其大大改善了热场内部纵向温度梯度，提高了单晶体硅的生长速度。

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别是，涉及一种单晶炉热屏结构。

背景技术

目前为止，太阳能光伏产业基本上是建立在硅材料基础之上的，为了降低生产成本，提高企业效益，光伏行业对晶体硅的质量要求越来越高，对晶体硅的生长速度要求也越来越高。

单晶硅生长时，通过降低温度，使熔硅液面中心温度低于硅的熔点，能够控制硅晶体的生长。在硅晶体生长时，结晶界面附近会产生结晶潜热，由于熔体温度较高，结晶潜热只能通过硅棒传导，辐射到气氛中，通过增加硅棒的纵向温度梯度，即减小溶液上方的温度，可以加速结晶潜热传导至晶棒表面，辐射到气氛中，从而提高单晶硅的生长速度。如何增加硅棒的纵向温度梯度，是本领域亟需解决的技术问题。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种单晶炉热屏结构，其大大改善了热场内部纵向温度梯度，提高了单晶体硅的生长速度。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种单晶炉热屏结构，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒，所述内胆体套设在外胆体内，所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环，所述水冷胆体套设在内胆体内，所述水管至少为两根，一端连通在水冷胆体上，另一端固定在支撑环上，所述支撑环位于水冷胆体的上方，所述屏蔽筒套设在水冷胆体内。

优选的，所述外胆体、内胆体和水冷胆体均为筒型结构。

优选的，所述外胆体的下端向内延伸，所述内胆体上端的直径大于其下端的直径。

优选的，所述水冷胆体上端的直径大于其下端的直径。

优选的，所述屏蔽筒上端的直径大于其下端的直径。

优选的，还包括保温毡，所述保温毡填充在外胆体和内胆体之间。

优选的，所述水管在支撑环上分别连接进水管和出水管，所述进水管和/ 或出水管上设置有流量计。

优选的，所述外胆体和内胆体均为石墨热屏蔽胆体。

优选的，所述水管为不锈钢水管。

优选的，所述屏蔽筒为钼筒。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：本实用新型中，通过水管完成水冷内胆内冷却水的循环，带走硅晶体结晶时释放的结晶潜热，从而改善热场内部纵向温度梯度，提高单晶体硅的生长速度，同时，屏蔽筒的设置减少喷硅、溅硅等异常对水冷胆体的影响，提高了水冷组件的使用安全性。

附图说明

图1为本实用新型中单晶炉热屏结构结构示意图；

图2为图1中单晶炉热屏结构的剖视图；

图3为图1中单晶炉热屏结构在单晶炉中的安装示意图；

其中，1外胆体、2为内胆体、31为水冷胆体、32为支撑环、33为水管、 331为进水管、332为出水管、34为流量计、4为屏蔽筒、5为保温毡。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。