[实用新型]电解铜箔电沉积装置及电解铜箔制造装置

权利要求书

1.一种电解铜箔电沉积装置，其特征在于，包括：

阴极部，利用电解液以电镀方式使铜箔电沉积；

阳极部，经由电解液与所述阴极部进行通电；

电解液供应部，向所述阴极部和所述阳极部之间供应电解液；以及

多个电极部，结合于所述阳极部，

多个所述电极部互相隔开间隔而结合于所述阳极部，使得从所述电解液供应部供应的电解液流动。

2.根据权利要求1所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

多个所述电极部分别包括第一电极构件，所述第一电极构件朝向从所述阳极部隔开间隔的距离发生增加的外侧方向延伸并结合于所述阳极部。

3.根据权利要求2所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

多个所述电极部分别包括第二电极构件，所述第二电极构件朝向上方延伸并结合于所述第一电极构件。

4.根据权利要求1所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，包括连接部，

所述连接部以与多个所述电极部电连接的方式分别结合于多个所述电极部。

5.根据权利要求1所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，包括遮蔽部，

所述遮蔽部结合于多个所述电极部，以从电解液遮住多个所述电极部。

6.根据权利要求5所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

多个所述电极部分别包括与所述阳极部结合的第一电极构件，

所述遮蔽部包括分别与多个所述第一电极构件结合的多个第一遮蔽构件，

多个所述第一遮蔽构件分别位于多个所述第一电极构件各自的上方，以从电解液遮住多个所述第一电极构件。

7.根据权利要求6所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

多个所述电极部分别包括与所述第一电极构件结合的第二电极构件，

所述遮蔽部包括分别与所述第二电极构件结合的多个第二遮蔽构件，

多个所述第二遮蔽构件分别位于多个所述第二电极构件各自的朝向所述阳极部的内侧方向，以从电解液遮住所述第二电极构件。

8.根据权利要求7所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

所述遮蔽部包括第三遮蔽构件，所述遮蔽构件结合于多个所述第一遮蔽构件和多个所述第二遮蔽构件，以遮住所述第一遮蔽构件和所述第二遮蔽构件之间。

9.根据权利要求5所述的电解铜箔电沉积装置，其特征在于，

所述遮蔽部由聚碳酸酯、聚对苯二甲酸以及聚酰亚胺中的任意一个材料形成。

10.一种电解铜箔制造装置，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的电解铜箔电沉积装置，还包括：

搬运部，用于搬运从所述阴极部解绕的铜箔；

切割部，用于切割从所述搬运部搬运的铜箔的两侧；以及

卷绕部，用于卷绕被所述切割部切割的铜箔。