[实用新型]一种气液分离装置有效
申请号: | 201822103620.4 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN209405754U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 常军 | 申请(专利权)人: | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201613 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进液口 排气口 管内 第二管 气液分离装置 本实用新型 液分离装置 阀门 化工技术领域 压力检测单元 液位传感器 气泡分离 下端开口 预设压力 上端 气压 下端 掺杂 伸出 维修 检测 制作 | ||
1.一种气液分离装置,其特征在于,包括:
第一管,其上设有第一进液口(11)和排气口(13),所述排气口(13)位于所述第一进液口(11)上方;
第二管(2),其下端置于所述第一管内,且所述第二管(2)下端开口形成第二进液口(21),其上端伸出所述第二管(2),所述第二进液口(21)位于所述第一进液口(11)下方;
液位传感器,设于所述第一管内且高度位于所述第一进液口(11)与所述排气口(13)之间;
压力检测单元,用于检测所述第一管内的气压;及
第一阀门,设于所述排气口(13),在所述第一管内的气压低于预设压力时,所述第一阀门处于关闭状态。
2.根据权利要求1所述的气液分离装置,其特征在于,所述第二进液口(21)为斜面口。
3.根据权利要求2所述的气液分离装置,其特征在于,所述斜面口与水平面的夹角为45°。
4.根据权利要求1所述的气液分离装置,其特征在于,所述第二管(2)外壁与所述第一管侧壁之间存在间隙,且所述第一管上端与所述第二管(2)之间密封设置。
5.根据权利要求1所述的气液分离装置,其特征在于,所述第一进液口(11)处设有第二阀门。
6.根据权利要求1所述的气液分离装置,其特征在于,所述第一管的下端设有第一排液口(12),所述第一排液口(12)位于所述第二进液口(21)下方。
7.根据权利要求6所述的气液分离装置,其特征在于,所述第一排液口(12)上设有第三阀门。
8.根据权利要求1至7任一项所述的气液分离装置,其特征在于,所述第一管包括从上至下依次连接的第一管段(14)、第二管段(15)及第三管段(16),且所述第二管段(15)的外径大于所述第一管段(14)的外径和所述第三管段(16)的外径。
9.根据权利要求1至7任一项所述的气液分离装置,其特征在于,所述压力检测单元为压力表或压力传感器。
10.根据权利要求1至7任一项所述的气液分离装置,其特征在于,所述第一管和所述第二管(2)均由可溶性聚四氟乙烯材料制成。
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