[实用新型]G7炉型热场隔热笼及G7型多晶炉有效
申请号: | 201822111610.5 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN209685953U | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 唐骏;常传波;杨振帮;韩晓敏 | 申请(专利权)人: | 扬州荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11225 北京金信知识产权代理有限公司 | 代理人: | 喻嵘;佛新瑜<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 225131 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 侧壁 本实用新型 顶盖 紧密贴合 多晶炉 隔热笼 通孔 体内 热门 底端内壁 贴合设置 可滑动 外周面 有效地 中空的 吹入 底端 吊臂 空腔 笼腔 炉型 排出 热场 开口 流出 | ||
1.一种G7炉型热场隔热笼,设置于具有吊臂的G7型多晶炉体内,其特征在于,包括顶盖、侧壁、笼底及笼底热门,共同围成中空的笼腔,其中,
所述侧壁围成两端具有开口的空腔;
所述顶盖设于所述侧壁的顶端,并与其形成紧密贴合;
所述笼底贴合设置于所述笼底热门上,共同设置于所述侧壁的底端,其中,所述笼底的外周面与所述侧壁的底端内壁形成可滑动的紧密贴合;
所述侧壁均匀分布有排气孔,以便气体从所述顶盖吹入并能够通过所述排气孔流出。
2.根据权利要求1所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述侧壁通过所述吊臂与所述G7型多晶炉体的内壁形成活动连接,以便在G7型多晶炉体内移动。
3.根据权利要求1所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述顶盖设有通孔,使气体通过所述通孔吹入。
4.根据权利要求3所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述顶盖的周缘与所述侧壁的顶部对应形成形状配合的阶梯状,以便紧密贴合。
5.根据权利要求4所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,还包括调节臂,所述调节臂固定于所述G7型多晶炉体的内壁上。
6.根据权利要求5所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,还包括坩埚和石墨支撑板,分别设置于所述笼腔内;其中,所述坩埚设于所述石墨支撑板上,所述石墨支撑板设于所述笼底上;通过所述笼底热门加热所述坩埚,以加工硅晶块。
7.根据上述权利要求6所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述顶盖、所述侧壁、所述笼底热门和所述坩埚的材料均选用石墨。
8.根据权利要求1所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述侧壁围成四边形的空腔。
9.根据权利要求1所述的G7炉型热场隔热笼,其特征在于,所述通孔设置为折线形,以减小外界对内部温度的影响。
10.一种G7型多晶炉,其吊臂和炉体,所述吊臂固定于所述炉体上,其特征在于,其还包括前述权利要求1-9中任一项所述的G7炉型热场隔热笼。
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