[实用新型]一种硅片存储系统有效
申请号: | 201822116715.X | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN209045517U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 周华军;王宏波;乔勇 | 申请(专利权)人: | 阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缓冲板 硅片 花篮 底部支撑杆 硅片存储 缓冲机构 驱动组件 传送组件 开口 太阳能电池生产 本实用新型 碎裂 刚性接触 缓冲力 减小 配置 送入 驱动 | ||
本实用新型公开了一种硅片存储系统,涉及太阳能电池生产技术领域。该硅片存储系统包括传送组件、花篮和缓冲机构,花篮包括设置于前侧的开口以及后侧的底部支撑杆;传送组件被配置为将硅片由开口送入花篮内;缓冲机构包括驱动组件及两个缓冲板,缓冲板设置于花篮的后侧,且两个缓冲板分别设置于底部支撑杆相对的两侧;驱动组件分别与两个缓冲板连接,驱动组件被配置为能够驱动两个缓冲板朝向花篮内部运动以相互靠近,并位于底部支撑杆的前侧。该硅片存储系统中,通过设置缓冲机构,可以为硅片提供缓冲力,避免硅片的端部与花篮的底部支撑杆刚性接触,减小硅片受到的力,从而降低硅片碎裂或暗裂几率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,尤其涉及一种硅片存储系统。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,需要将硅片放入花篮内储存,以便进入下一加工工序。目前,一般采用皮带输送,利用皮带的传送速度和惯性将硅片送入花篮对应的卡槽内。硅片输送到位时,硅片将与花篮的底部支撑杆碰撞,花篮的底部支撑杆的材质较硬,容易造成硅片碎裂或暗裂,硅片的碎片率偏高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片存储系统,可以降低硅片存储过程中的碎裂或暗裂几率。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种硅片存储系统,包括:
花篮,所述花篮包括设置于前侧的开口以及后侧的底部支撑杆;
传送组件,所述传送组件被配置为将硅片由所述开口送入所述花篮内;及
缓冲机构,所述缓冲机构包括:
两个缓冲板,所述缓冲板设置于所述花篮的后侧,且两个所述缓冲板分别设置于所述底部支撑杆相对的两侧;及
驱动组件,所述驱动组件分别与两个所述缓冲板连接,所述驱动组件被配置为能够驱动两个所述缓冲板朝向所述花篮内部运动以相互靠近,并位于所述底部支撑杆的前侧。
其中,所述缓冲板由弹性材料制成。
其中,所述缓冲板由硅胶制成。
其中,所述驱动组件包括气缸,每个所述缓冲板均连接有一个所述气缸。
其中,两个所述缓冲板相对的侧面分别设置有一避让槽,当所述缓冲板被配置为朝向所述花篮内部运动时,所述避让槽卡在所述花篮的侧部支撑板上。
其中,所述缓冲板与所述底部支撑杆沿前后方向的距离为3mm-5mm。
其中,所述缓冲板的长度为580-600mm,宽度为38-40mm,厚度为8-10mm。
其中,所述硅片存储系统还包括:
收料台,所述收料台被配置为承载所述花篮,所述缓冲机构设置于所述收料台上。
其中,所述收料台被配置为能够升降。
其中,所述硅片存储系统还包括:
送料组件,所述送料组件被配置为将所述花篮输送至所述收料台以及将所述花篮由所述收料台输出。
有益效果:本实用新型提供了一种硅片存储系统。该硅片存储系统中,通过设置缓冲机构,可以为硅片提供缓冲力,避免硅片的端部与花篮的底部支撑杆刚性接触,减小硅片受到的力,从而降低硅片碎裂或暗裂几率。
附图说明
图1是本实用新型提供的硅片存储系统的结构示意图;
图2是本实用新型提供的硅片送入花篮时的结构示意图;
图3是本实用新型提供的花篮、收料台及缓冲机构的结构示意图一;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造