[实用新型]用于光刻加工的烘胶台有效
| 申请号： | 201822117221.3 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209460576U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 谢孝民;郭金城 | 申请（专利权）人： | 苏州汶颢微流控技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 冯瑞 |
| 地址： | 215808 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 壳体 底板 烘胶 加热盘 光刻 电源接口 加热丝 侧壁 加工 壳体顶部开口 本实用新型 固态继电器 固定设置 开关电源 控温模块 控制电路 散热风扇 贴合固定 电连接 开口处 散热孔 盖板 台面 导通 后烘 铰接 控温 前烘 加热 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻加工的烘胶台，包括壳体以及铰接于所述壳体上的盖板，其特征在于，
所述壳体顶部开口，所述开口处固定设置有加热盘，所述加热盘内设有加热丝，加热盘上贴合固定有烘胶台面；
所述壳体的侧壁上设有电源接口，壳体的底板上设有分别与所述电源接口和加热丝电连接的开关电源；壳体的底板上还设置有用于控制电路导通的固态继电器以及用于控制加热温度的控温模块；
所述壳体的底板上位于加热盘正下方的位置设有散热风扇，所述壳体的侧壁和底板上均设有多个散热孔。
2.如权利要求1所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述开口的侧壁上形成有安装环座，所述加热盘固定于所述安装环座上。
3.如权利要求2所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述加热盘的底部通过多个固定柱固定于所述安装环座上。
4.如权利要求1所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述盖板上与烘胶台面对应的位置设有观察窗。
5.如权利要求1所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述壳体的前侧形成一斜面，所述斜面上安装有显示屏。
6.如权利要求1所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述加热盘和烘胶台面均为圆形。
7.如权利要求1所述的用于光刻加工的烘胶台，其特征在于，所述加热盘是铝制的，所述烘胶台面是不锈钢制的。
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