[实用新型]用于光刻加工的烘胶台

说明书

本实用新型公开了一种用于光刻加工的烘胶台，包括壳体以及铰接于所述壳体上的盖板；所述壳体顶部开口，所述开口处固定设置有加热盘，所述加热盘内设有加热丝，加热盘上贴合固定有烘胶台面；所述壳体的侧壁上设有电源接口，壳体的底板上设有分别与所述电源接口和加热丝电连接的开关电源；壳体的底板上还设置有用于控制电路导通的固态继电器以及用于控制加热温度的控温模块；所述壳体的底板上位于加热盘正下方的位置设有散热风扇，所述壳体的侧壁和底板上均设有多个散热孔。本实用新型的用于光刻加工的烘胶台，可以对光刻胶进行前烘、中烘和后烘，且具有烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点。

技术领域

本实用新型涉及光刻加工工艺领域，具体涉及一种用于光刻加工的烘胶台。

背景技术

一般说来，在集成电路半导体器件、液晶显示屏、等离子体显示屏等的制造中，需要在半导体晶片或玻璃基片上形成预定的材料图形。预定材料图形的形成包括在半导体晶片或玻璃基片上沉积的材料层之上涂覆光刻胶，通过曝光形成光刻胶图形，以及通过把光刻胶图形用作蚀刻掩膜把材料层蚀刻为预定材料图形。在材料层上涂覆光刻胶的过程中，需要使用特定的烘干设备进行烘干。但是现有技术中未见到有专门用于光刻胶烘干的设备。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于光刻加工的烘胶台，该烘胶台可以对光刻胶进行前烘、中烘和后烘，且具有烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于光刻加工的烘胶台，包括壳体以及铰接于所述壳体上的盖板；

所述壳体顶部开口，所述开口处固定设置有加热盘，所述加热盘内设有加热丝，加热盘上贴合固定有烘胶台面；

所述壳体的侧壁上设有电源接口，壳体的底板上设有分别与所述电源接口和加热丝电连接的开关电源；壳体的底板上还设置有用于控制电路导通的固态继电器以及用于控制加热温度的控温模块；

所述壳体的底板上位于加热盘正下方的位置设有散热风扇，所述壳体的侧壁和底板上均设有多个散热孔。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述开口处的侧壁上形成有安装环座，所述加热盘固定于所述安装环座上。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述加热盘的底部通过多个固定柱固定于所述安装环座上。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述盖板上与烘胶台面对应的位置设有观察窗。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述壳体的前侧形成一斜面，所述斜面上安装有显示屏。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述加热盘和烘胶台面均为圆形。

本实用新型一种优选的实施方式中，所述加热盘是铝制的，所述烘胶台面是不锈钢制的。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的用于光刻胶加工的烘胶台，可以对光刻胶进行前烘、中烘和后烘，且具有烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点。

附图说明

图1是本实用新型的用于光刻胶加工的烘胶台的外部结构示意图；

图2是图1中的烘胶台的内部结构示意图；

图中标号说明：

100、壳体；110、开口；120、斜面；130、显示屏；140、散热孔；150、电源接口；160、电源开关；170、支撑脚；200、盖板；210、观察窗；300、加热盘；310、固定柱；400、烘胶台面；500、开关电源；600、散热风扇；700、固态继电器；800、控温模块；900、PCB板。

具体实施方式