[实用新型]一种硅片存储装置有效
申请号: | 201822117888.3 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN209045518U | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 李永杰;张建峰;朱元;王森 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 224431 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 挡板 硅片存储 硅片 驱动组件 收纳机构 挡片 开口 遮挡 太阳能电池生产 本实用新型 驱动 开口方向 收纳 外带 抵接 放入 移动 配置 | ||
本实用新型公开了一种硅片存储装置,涉及太阳能电池生产技术领域。该硅片存储装置包括用于收纳硅片的收纳机构,所述收纳机构包括开口,所述硅片存储装置还包括挡片机构,所述挡片机构包括挡板及驱动组件,所述挡板设置于所述开口的一侧;所述驱动组件与所述挡板连接,所述驱动组件被配置为能够驱动所述挡板遮挡部分所述开口,以与所述硅片的端部抵接。该硅片存储装置中设置有挡片机构,当硅片放入到收纳机构中后,挡片机构中的挡板在驱动组件的驱动下向开口方向移动,从而遮挡部分开口,避免硅片被向外带出收纳机构,提高硅片存放的稳定性和可靠性。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,尤其涉及一种硅片存储装置。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,需要将硅片放入缓存盒或花篮内储存或等待进入下一加工工序。目前,硅片一般采用吸盘吸附后插入到缓存盒的卡槽内储存。当吸盘吸附硅片插入到卡槽内后,吸盘破真空,并由卡槽抽出。由于硅片的表面有水渍,硅片与吸盘之间的吸附力较大,吸盘在抽出的过程中容易带动硅片向卡槽外抽出,影响硅片存储的稳定性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片存储装置,可以避免硅片在放入收纳机构过程中被带出,提高硅片存放的稳定性和可靠性。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种硅片存储装置,包括用于收纳硅片的收纳机构,所述收纳机构设置有开口,所述硅片存储装置还包括挡片机构,所述挡片机构包括:
挡板,所述挡板设置于所述开口的一侧;
驱动组件,所述驱动组件与所述挡板连接,所述驱动组件被配置为能够驱动所述挡板遮挡所述开口的部分区域,以与所述硅片的端部抵接。
其中,所述收纳机构内设置有多个卡槽,所述挡板沿多个卡槽的排列方向延伸。
其中,所述挡板的长度为580-600mm,宽度为38-40mm,厚度为8-10mm。
其中,所述挡板由弹性材料制成。
其中,所述挡板由硅胶或橡胶制成。
其中,所述挡板的数量为两个,两个所述挡板分别位于所述开口相对的两侧,每个所述挡板对应连接有一个所述驱动组件。
其中,所述驱动组件包括气缸,所述气缸设置于所述收纳机构的外壁上,所述气缸的输出端与所述挡板连接。
其中,所述硅片存储装置还包括:
输送组件,所述输送组件被配置为能够将所述硅片送入所述收纳机构内。
其中,所述输送组件的宽度小于所述开口被所述挡片机构遮挡后的宽度。
其中,所述输送组件包括吸盘,所述吸盘被配置为能够吸附所述硅片。
有益效果:本实用新型提供了一种硅片存储装置。该硅片存储装置中设置有挡片机构,当硅片放入到收纳机构中后,挡片机构中的挡板在驱动组件的驱动下向开口方向移动,从而遮挡部分开口,避免硅片被向外带出收纳机构,提高硅片存放的稳定性和可靠性。
附图说明
图1是本实用新型提供的收纳机构和挡片机构装配后的结构示意图;
图2是本实用新型提供的输送组件输送硅片时的结构示意图。
其中:
11、顶板;12、底板;13、侧板;131、卡齿;132、卡槽;14、开口;21、挡板;22、气缸;3、输送组件;31、吸盘;4、硅片。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造