[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201822117968.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN210529032U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
加热坩埚，用于对蒸镀材料进行加热使其蒸发；
磁板，位于所述加热坩埚上方，具有磁性，用于固定待蒸镀的目标基板；
所述磁板内设置有两个以上的磁性物，且所述磁板的磁性由中部至边缘递减；
所述磁性物为电磁铁，所述电磁铁包括铁芯和缠绕于所述铁芯表面的导电线圈；
由所述磁板的中部至边缘，所述电磁铁导通电流或单位长度内缠绕的导电线圈的圈数递减，使所述磁板的磁性由中部至边缘递减；
所述电磁铁连接有开关，所述开关用于控制磁板四周先产生磁性，然而使磁板中部产生磁性。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述铁芯为软铁或硅钢。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电磁铁在所述磁板内呈行列矩阵式排列。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括接触板，所述接触板设置于所述磁板的下表面，用于与所述目标基板接触。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括金属掩膜板，所述金属掩膜板设置于所述目标基板的下方，金属掩膜板上镂空有蒸镀图案。
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