[实用新型]一种单晶炉真空系统有效
| 申请号： | 201822125418.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209243246U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李润飞;赵京通;李永哲;张路法;张松;高志民 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄德皓专利代理事务所(普通合伙) 13129 | 代理人： | 杨瑞龙;刘磊娜 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 除尘设备 真空管道 除尘罐 单晶炉 过滤网 真空泵 过滤装置 真空系统 波纹管 落灰仓 除尘 真空管 本实用新型 弹簧吊装 底部连接 开口向下 充气阀 电磁阀 球阀 | ||
1.一种单晶炉真空系统，其特征在于：其包括与单晶炉连接的真空管道（1）、设置在所述真空管道（1）上的球阀（2）和充气阀（3）、与所述真空管道（1）连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵（4），所述真空管道（1）与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵（4）与所述除尘设备的上部连接；
所述除尘设备包括除尘罐（5）和设置在所述除尘罐（5）内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐（5）顶部的电磁阀（6）、通过弹簧（7）吊装在所述除尘罐（5）内的过滤网（8）及设置在所述除尘罐（5）下部的落灰仓（9），所述过滤网（8）的开口向下；所述真空管道（1）和真空泵（4）分别通过波纹管（10）连接在所述过滤网（8）的下方和上方，所述真空管道（1）通过波纹管（10）与所述落灰仓（9）连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空系统，其特征在于：所述过滤网（8）上部设置在上滤网法兰（11）上，下部设置在下滤网法兰（12）上，所述上滤网法兰（11）与所述弹簧（7）连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉真空系统，其特征在于：所述除尘罐（5）上设置有保养口（13）和除尘口（14），所述保养口（13）与所述过滤网（8）相对应，所述除尘口（14）与所述落灰仓（9）相对应。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空系统，其特征在于：所述除尘罐（5）上还设置有行走轮（15）。
5.根据权利要求1、2或4任一项所述的一种单晶炉真空系统，其特征在于：所述真空泵（4）为干式螺旋真空泵。
6.根据权利要求1、2或4任一项所述的一种单晶炉真空系统，其特征在于：所述球阀（2）为气动球阀。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北晶龙阳光设备有限公司，未经河北晶龙阳光设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822125418.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高纯碳化硅的制备装置
- 下一篇：锁链式发射极
