[实用新型]一种单晶炉真空系统

说明书

本实用新型涉及一种单晶炉真空系统，其包括与单晶炉连接的真空管道、设置在所述真空管道上的球阀和充气阀、与所述真空管道连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵，所述真空管道与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵与所述除尘设备的上部连接；所述除尘设备包括除尘罐和设置在所述除尘罐内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐顶部的电磁阀、通过弹簧吊装在所述除尘罐内的过滤网及设置在所述除尘罐下部的落灰仓，所述过滤网的开口向下；所述真空管道和真空泵分别通过波纹管连接在所述过滤网的下方和上方，所述真空管道通过波纹管与所述落灰仓连接。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备领域，尤其涉及一种单晶炉真空系统。

背景技术

目前，单晶炉的抽真空系统通常是采用油泵来实现对炉体内抽真空，但采用油泵往往出现漏油等问题，清理费劲且造成环境污染。本实用新型设计了一种单晶炉真空系统，采用真空泵代替传统的油泵，具有整个系统不耗油、无滴漏，对空气和环境零污染等特点。同时在该真空系统中还设置了除尘设备，在抽真空过程中，能有效过滤杂质，实现在线清灰，降低炉内杂质对真空泵的影响，延长了真空泵的连续工作时间。同时，该系统使用气动球阀实现炉体与真空泵之间的开合，实现直接用真空泵对炉压进行控制，减少了传统系统中蝶阀的使用，降低了成本。此系统还带有充气阀，在单晶炉停炉后球阀优先关闭，真空泵再关闭，这样可防止除尘设备内的杂质倒吸进炉体污染单晶，球阀关闭后，通过打开充气阀对除尘罐进行充气待达到正常压力时，可打开清料口对除尘设备杂质进行清理。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种清洁无污染、过滤效果好的单晶炉真空系统。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种单晶炉真空系统，其关键技术在于：其包括与单晶炉连接的真空管道、设置在所述真空管道上的球阀和充气阀、与所述真空管道连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵，所述真空管道与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵与所述除尘设备的上部连接；

所述除尘设备包括除尘罐和设置在所述除尘罐内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐顶部的电磁阀、通过弹簧吊装在所述除尘罐内的过滤网及设置在所述除尘罐下部的落灰仓，所述过滤网的开口向下；所述真空管道和真空泵分别通过波纹管连接在所述过滤网的下方和上方，所述真空管道通过波纹管与所述落灰仓连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述过滤网上部设置在上滤网法兰上，下部设置在下滤网法兰上，所述上滤网法兰与所述弹簧连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述除尘罐上设置有保养口和除尘口，所述保养口与所述过滤网相对应，所述除尘口与所述落灰仓相对应。

作为本实用新型的进一步改进，所述除尘罐上还设置有行走轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空泵为干式螺旋真空泵。

作为本实用新型的进一步改进，所述球阀为气动球阀。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：