[实用新型]一种半导体器件清洗工装

权利要求书

1.一种半导体器件清洗工装，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上侧设置有清洗箱体(6)、支撑座(21)和电动机(22)，所述清洗箱体(6)前表面通过合页和箱门(5)铰接，两个所述箱门(5)交接处通过安全锁连接，所述电动机(22)位于支撑座(21)内部，所述电动机(22)通过联轴器和转动轴一端连接，转动轴另一端焊接在转盘下表面，转盘下侧设置有限位圈，限位圈套接在支撑座(21)上，转盘上侧设置有侧板，侧板一侧设置有限位板(18)，所述限位板(18)上侧设置有吸盘(11)，转盘上方设置有第一兆声喷头(12)，所述第一兆声喷头(12)和第一水管(3)一端连接，所述第一水管(3)另一端穿出转盘上的通孔并与第一兆声发生器(20)和第一过滤箱(4)连接，转盘上的另一个通孔内穿入有第一气管(10)，所述第一气管(10)一端设置有第一喷气头，所述清洗箱体(6)上侧穿入有第二水管(9)和第二气管(14)，所述第二水管(9)位于清洗箱体(6)内部的一端安装有第二兆声喷头(17)，所述第二水管(9)上安装有第二过滤箱(8)和第二兆声发生器(7)，所述第二气管(14)下端设置有第二喷气头(13)，所述第一过滤箱(4)和第二过滤箱(8)内部均设置有过滤网(15)，所述第一过滤箱(4)和第二过滤箱(8)上均设置有排污管，排污管上安装有排污阀，所述底座(1)上的导水孔和底座(1)内部的收集箱(19)导通，所述收集箱(19)内部设置有油水分离器(16)，所述收集箱(19)底部设置有油污排出管(2)和污水排出管。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗工装，其特征在于，所述油污排出管(2)一端穿出底座(1)一侧，污水排出管一端穿出底座(1)另一侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗工装，其特征在于，所述第一兆声喷头(12)和限位板(18)上表面之间的垂直距离为50厘米，所述第二兆声喷头(17)上端面和限位板(18)底面之间的垂直距离为15厘米。

4.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗工装，其特征在于，第一喷气头下表面和限位板(18)上表面的垂直距离为40厘米，所述第二喷气头(13)上表面和限位板(18)下表面之间的垂直距离为10厘米。

5.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗工装，其特征在于，所述过滤网(15)为不锈钢过滤网，所述过滤网(15)焊接在第一过滤箱(4)和第二过滤箱(8)内壁。