[实用新型]一种坩埚有效
| 申请号： | 201822137006.X | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209338648U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李佳乐;陈文祥;李浩永;曹景博 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀材料 坩埚本体 坩埚腔 下压块 坩埚 顶部开口 导向杆 坩埚盖 本实用新型 底部方向 内部设置 坩埚中心 出气孔 延伸 盖合 裂解 加热 填充 挤压 指向 申请 | ||
1.一种坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，所述坩埚本体内形成顶部开口的坩埚腔；
与所述坩埚本体连接以盖合所述顶部开口的坩埚盖，所述坩埚盖设有一出气孔；
置于所述坩埚腔内部、且安装于所述坩埚本体底部的导向杆，所述导向杆沿所述坩埚本体的顶部指向底部方向延伸；
置于所述坩埚腔内、且可相对于所述坩埚本体沿所述导向杆延伸方向动作的下压块，当所述坩埚腔内填充有蒸镀材料时，所述下压块朝向所述坩埚本体底部的表面与所述坩埚腔内的蒸镀材料的表面相接触。
2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述导向杆的轴心线与所述坩埚腔的轴心线重合。
3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述导向杆为直杆。
4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述导向杆为螺旋杆。
5.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述下压块包括下压块本体，且所述下压块用于与蒸镀材料接触的表面设有多个推板，每一个所述推板与下压块本体之间通过弹簧连接，且当所述推板与所述下压块本体帖附时，所述弹簧处于压缩蓄力状态。
6.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述下压块具有锥形结构，且所述下压块朝向所述坩埚本体底部一端的尺寸小于所述下压块朝向所述坩埚本体顶部一端的尺寸。
7.根据权利要求1-6任一项所述的坩埚，其特征在于，所述导向杆的材料为不锈钢、钨或者钼等耐高温、耐腐蚀的材质。
8.根据权利要求1-6任一项所述的坩埚，其特征在于，所述下压块的材料为不锈钢、钨或者钼等耐高温、耐腐蚀的材质。
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