[实用新型]一种坩埚

说明书

本实用新型提供了一种坩埚，包括：坩埚本体，内部形成顶部开口的坩埚腔；与坩埚本体连接以盖合顶部开口的坩埚盖，坩埚盖设有一出气孔；置于坩埚腔内部、且安装于坩埚本体底部的导向杆，沿坩埚本体的顶部指向底部方向延伸；置于坩埚腔内、且可相对于坩埚本体沿导向杆延伸方向动作的下压块，当坩埚腔内填充有蒸镀材料时，下压块朝向坩埚本体底部的表面与坩埚腔内的蒸镀材料的表面相接触。本申请通过在坩埚内部设置下压块，下压块随着蒸镀材料的减少而下降将材料向两侧挤压，使得蒸镀材料能够在坩埚内分布均匀，避免蒸镀材料聚集在坩埚中心，从而保持加热速率稳定，防止蒸镀材料裂解。

技术领域

本申请涉及有机发光二极管蒸镀坩埚及有机发光二极管蒸镀系统，特别涉及一种坩埚。

背景技术

目前，制备有机发光二极管显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，参见图1，即在真空腔体内使用坩埚加热有机发光二极管材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上。

真空热蒸镀技术是在真空环境下，通过加热的方式将材料由固态变为蒸气状态，高速运动的气态分子到达玻璃基板并在基板上沉积固化，再变回为有机发光二极管材料的固体薄膜。对于熔融型材料，其受热后，会由固态变为液态，最后变为气态分子，这类型材料对于坩埚内部的形状并没有太高的要求，因为液态物质会到处流动，可以保持与坩埚内壁的充分接触。而对于升华型材料，其受热后，会直接由固态转化为气态分子。由图2可看出，由于固态物质缺乏流动性，有机发光二极管材料受热后，与坩埚内壁接触的有机发光二极管材料首先升华，变成气态分子跑掉，剩下的固态有机发光二极管材料无法流动，从而剩余的有机发光二极管材料无法与坩埚内壁充分接触，导致升华的速率不稳。如果设备运行在速率固定模式下，为保持升华速率，设备会不断加热以提高温度，这样极有可能超过有机发光二极管材料的裂解温度，导致有机发光二极管材料变质。

实用新型内容

本实用新型提供了一种坩埚，用于蒸镀，能够保证蒸镀材料在坩埚内均匀分布，避免蒸镀材料聚集在坩埚中心，从而保持加热速率稳定，防止蒸镀材料裂解。

为达到上述目的，本实用新型提供了一种坩埚，包括：

坩埚本体，所述坩埚本体内形成顶部开口的坩埚腔；

与所述坩埚本体连接以盖合所述顶部开口的坩埚盖，所述坩埚盖设有一出气孔；

置于所述坩埚腔内部、且安装于所述坩埚本体底部的导向杆，所述导向杆沿所述坩埚本体的顶部指向底部方向延伸；

置于所述坩埚腔内、且可相对于所述坩埚本体沿所述导向杆延伸方向动作的下压块，当所述坩埚腔内填充有蒸镀材料时，所述下压块朝向所述坩埚本体底部的表面与所述坩埚腔内的蒸镀材料的表面相接触。

本实用新型提供的坩埚，通过在坩埚腔内部设置沿坩埚本体顶部指向底部延伸的导向杆以及可以沿导向杆延伸的下压块，使得坩埚内的蒸镀材料减少时，下压块逐渐下降，使得蒸镀材料能够在坩埚内均匀分布，避免蒸镀材料聚集在坩埚中心，从而保持加热速率稳定，防止蒸镀材料裂解。

优选地，所述导向杆的轴心线与所述坩埚腔的轴心线重合。

优选地，所述导向杆为直杆。

优选地，所述导向杆为螺旋杆。

优选地，所述下压块包括下压块本体，且所述下压块用于与蒸镀材料接触的表面设有多个推板，每一个所述推板与下压块本体之间通过弹簧连接，且当所述推板与所述下压块本体帖附时，所述弹簧处于压缩蓄力状态。

优选地，所述下压块具有锥形结构，且所述下压块朝向所述坩埚本体底部一端的尺寸小于所述下压块朝向所述坩埚本体顶部一端的尺寸。

优选地，所述导向杆的材料为不锈钢、钨或者钼等耐高温、耐腐蚀的材质。