[实用新型]一种硅片非接触输送装置有效
| 申请号： | 201822141686.2 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209321758U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张弛;王志刚;王四海 | 申请（专利权）人： | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/00 | 分类号： | B65G13/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 211162 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滚轴 固定座 主动轴 硅片 非接触输送装置 首端 伺服电机驱动 本实用新型 固定座尾端 皮带连接 首尾相接 伺服电机 旋转驱动 贯穿 内壁 外壁 支架 | ||
1.一种硅片非接触输送装置，其特征在于，包括第一滚轴固定座(21)、第二滚轴固定座(22)、伺服电机(6)、支架(7)，以及位于第一滚轴固定座(21)内的两个以上的第一滚轴(11)，位于第二滚轴固定座(22)内的内的两个以上的第二滚轴(12)；
所述第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接，第一滚轴固定座(21)的首端外壁与第二滚轴固定座(22)尾端内壁相接触，通过贯穿的主动轴(4)进行连接，主动轴(4)通过伺服电机(6)驱动旋转；第一滚轴固定座(21)的首端设有一个第一滚轴(11)，主动轴(4)贯穿该第一滚轴(11)；相邻的两个滚轴之间依次通过皮带(3)连接，通过主动轴(4)旋转驱动所有的滚轴进行旋转，从而将滚轴上方的硅片(9)进行输送；
第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接处通过底部的支架(7)进行支撑。
2.根据权利要求1所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，第一滚轴(11)和第二滚轴(12)的两端设有凹槽，相邻的两个滚轴通过嵌入在凹槽内皮带(3)依次相连。
3.根据权利要求2所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，第一滚轴(11)和第二滚轴(12)材质为聚丙烯，表面处理光滑。
4.根据权利要求1所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，所述主动轴(4)通过联轴器(5)与伺服电机(6)的输出轴相连接。
5.根据权利要求4所述的硅片非接触输送装置，其特征在于，所述伺服电机(6)通过安装在与支架(7)平行的电机固定座(8)上。
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